MEMS麦克风介绍【材料浅析】

1、,MEMS Microphone Presentation,AAC Acoustic Technologies Holdings Inc.,AAC,MEMS Microphone Presentation,MEMS 技术介绍,MEMS Microphone 介绍,MEMS Mic优点,Production Process,Application of Products,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS (Micro Electromechanical System，即微电子机械 系统) 是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接 口电路、通信和电源于一体的微型

2、机电系统。概括起来MEMS 具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度 和适于大批量生产. MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具 有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多 学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所 有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、 材料科学、能源科学等。 其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面：,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,1理论基础： 在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响（Scaling Effect

3、s），许多物理现象与宏观世界有很大区别，因此许多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。这一方面的研究虽然受到重视，但难度较大，往往 需要多学科的学者进行基础研究。,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,2技术基础： MEMS的技术基础可以分为以下几个方面：（1）设计与仿真技术；（2）材料与加工技术 （3）装配与封装技术;（4）测量与试验技术；（5）集成与系统技术等。 3应用研究： 人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将ME

4、MS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合，制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS 微结构,MEMS 晶圆排列,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,1. 体积小. 2. 便于SMT安装. 3. 耐高温,稳定性好. 4. 灵活的设计应用. 5. 兼容数字化发展. 6. 自动化程度高. 7. 适合大批量生产.,AAC,MEMS Microphone,MEMS Microphone Presentation,M

5、EMS Microphone 产品简介,MEMS麦克风是由MEMS微电容传感器、微集成转换电路(放大器)、声腔及RF抗噪电路组成。MEMS微电容极头部分包含接收声音的硅振膜和硅背极,硅振膜可直接将接收到的音频信号经MEMS微电容传感器传输给微集成电路,微集成电路可将高阻的音频电信号转换并放大成低阻的音频电信号,同时经RF抗噪电路滤波,输出与手机前置电路相匹配的电信号.完成“声-电”转换.,MEMS Microphone 工作原理,AAC,MEMS Microphone 产品简介,V out,Silicon Back Plate,Silicon diaphragm,GND,RF Filter,M

6、EMS Microphone Module Structure,V supply,MEMS Acoustic Sensor,ASIC,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS Wafer,MEMS Die,MEMS Microphone Wafer & MEMS Die,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS Microphone Profile,AAC,Acoustic port hole,L,W,H,4,2,1,3,PIN# FUNCTION 1.OUTPUT, 2.NO CONNECTION 3.GROUND, 4.POWER,MEMS Microp

7、hone 产品简介,MEMS Microphone Structure,AAC,1,2,3,6,7,8,5,4,MEMS Microphone 产品简介,Performance Comparison,AAC,MEMS Microphone 产品简介,Recommended Interface Circuit,AAC,AAC MEMS Microphone,Term3. Term2.,Term4,Term1,-,+,Vref,External Gain=-R1/R2 (Set by customer),+,R2,R1,MEMS Microphone 产品简介,Solder Reflow Prof

8、ile,AAC,Incoming Inspection,Wafer Sawing,Wafer Expand,SMT/glueing,Packaging/Cutting,Testing / Marking / Taping,Shipping Inspection,Packing,Wafer Fabrication,Packaging,Wafer Foundry,Pick up and place MEMS,Wire Bonding,Reliability Test,Wafer Testing,Wafer Inspection,Production Process,AAC,MEMS Microph

9、one,MEMS Microphone 产品简介,Cellular Phone(CDMA, GSM, PCS), Camcorder Phone, MP3 Phone, PDA Phone etc.,Camcorder, Digital Camera etc.,Ear Phone MIC for Headsets, MP3, Bluetooth, etc.,Notebook Computer, Desk-Top Computer Video Door Phone etc. Cordless Phone,MEMS Wafer Fab.,MEMS Packaging,Application of Product,AAC,MEMS