- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-28 颁布
- 2019-04-01 实施
下载本文档
文档简介
ICS7704030
H17..
中华人民共和国国家标准
GB/T37049—2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Testmethodforthecontentofmetalimpurityinelectronicgradepolysilicon—
Inductivelycoupled-plasmamassspectrometrymethod
2018-12-28发布2019-04-01实施
国家市场监督管理总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T37049—2018
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准
(SAC/TC203)
化技术委员会材料分会共同提出并归口
(SAC/TC203/SC2)。
本标准起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分
:、
公司有研半导体材料有限公司宜昌南玻硅材料有限公司新特能源股份有限公司洛阳中硅高科技有
、、、、
限公司
。
本标准主要起草人鲁文锋刘晓霞秦榕孙燕赵而敬王桃霞赵玉王忠慧柳德发张园园
:、、、、、、、、、、
银波邱艳梅刘强
、、。
Ⅰ
GB/T37049—2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
1范围
本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的
(ICP-MS)
方法
。
本标准适用于中在基体金属杂质小于范围内铁铬镍铜锌钠含量的
GB/T129635ng/g、、、、、
测定
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
电子级多晶硅
GB/T12963
半导体材料术语
GB/T14264
洁净室及相关受控环境第部分空气洁净度等级
GB/T25915.1—20101:
四级杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范
JJF1159
液体化学品分析指南
SEMIC1(Guidefortheanalysisofliquidchemicals)
半导体加工用超纯水指南
SEMIF63(Guideforultrapurewaterusedinsemiconductorprocess-
ing)
3术语和定义
及界定的以及下列术语和定义适用于本文件
GB/T14264JJF1159。
31
.
分辨率resolution
以某元素质量峰高处的峰宽表示
10%。
32
.
检出限detectionlimit
质谱仪在一定的置信度内所能测定的某元素的最低极限质量浓度
。
33
.
仪器检出限instrumentdetectionlimit
空白试剂纯水信号平均值的三倍标准偏差所对应的浓度值
()。
34
.
方法检出限定量下限mothoddetectionlimit
()
给定的分析方法在特定条件下能以合理的置信水平检出被测物的最小浓度
。
35
.
背景噪声backgroundnoise
未引入某元
温馨提示
- 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
- 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
- 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题。
最新文档
- 培训课件 -创新性课程设计与开发-萃取组织最佳实践 -经验萃取-星导师赋能
- 领会遵循《全面深化改革开放为中国式现代化持续注入强劲动力》心得体会
- 高考物理大一轮复习 考点规范练37 光电效应 波粒二象性 新人教版-新人教版高三全册物理试题
- 高考生物一轮复习高考题分类汇编 第10单元 现代生物科技专题 专题22克隆技术(选修3)-人教版高三选修3生物试题
- 2024届百师联盟高三下学期二轮复习联考(一)二轮1文综卷
- 甘肃省定西市岷县2023-2024学年二年级下学期期中语文试卷
- 安德森六级撞击微生物采样器校准规范
- 广东省揭阳市榕城区2023-2024学年七年级下学期月考数学试卷
- 企业供应链管理系统建设实施方案
- 预防水痘主题班会
- GB/T 23331-2020能源管理体系要求及使用指南
- 英文版中国餐桌礼仪课件
- (完整word版)高等师范学校学生的教师职业技能训练大纲(试行)
- 分析化学期末试卷及答案
- 养鸡场租赁合同范本(3篇)
- 标准化试点项目创建过程课件
- Maya菜单中英文对照表
- 采购计划表格
- 诗意的堕落一朝忽觉京梦醒,半世浮沉雨打萍完整版
- 职业安全健康管理体系审核规范-实施指南
- 东南大学教学楼施工组织设计
评论
0/150
提交评论