• 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-04-28 颁布
  • 2020-11-01 实施
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文档简介

ICS0104039

N10..

中华人民共和国国家标准

GB/T38616—2020

纳米定位与扫描平台术语

Terminologyfornanopositioningandscanningstage

2020-04-28发布2020-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T38616—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

通用术语

2…………………1

检测术语

3…………………2

索引

……………………………7

Ⅰ

GB/T38616—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC153)。

本标准起草单位沈阳建筑大学三英精控天津仪器设备有限公司广东工业大学中国计量科学

:、()、、

研究院苏州昊通仪器科技有限公司沈阳理工大学

、、。

本标准主要起草人须颖戴敬安冬邵萌施玉书贾静戴超文杰王贺

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38616—2020

纳米定位与扫描平台术语

1范围

本标准界定了纳米定位与扫描平台以下简称平台的术语定义

()。

本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义

。

2通用术语

21

.

压电陶瓷驱动器piezoactuator

利用纵向压电效应将电能转化为机械能的陶瓷元件

。

22

.

柔性铰链机构flexurehingemechanism

利用材料弹性形变产生位移的一种特殊运动副具有无机械摩擦运动灵敏度高位移分辨力高等

,、、

特点常用于平台传动导向机构

,。

注根据横截面切口形状可以将柔性铰链分为直角型椭圆形过渡圆角型以及正圆形等如图所示

::、、,1。

a直角型柔性铰链b椭圆形柔性铰链c过渡圆角型柔性铰链d正圆形柔性铰链

))))

图1按横截面切口形状分类的柔性铰链

23

.

纳米定位与扫描平台nanopositioningandscanningstage

基于压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构的具有纳米量级定位和扫描功能的平台

。

24

.

平台材料stagematerial

用于制造平台主体机械结构的物质

。

25

.

平台尺寸stagesize

表征平台外部轮廓的几何量

。

注通常以毫米为单位

:(mm)。

26

.

平台运动维度stagedegreeoffreedom

独立的平台运动空间坐标方向的数目

。

注可分为一维二维六维平台

:、、……、。

27

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