新厂90T纯水系统运行操作规程.doc

题 目：新厂90T纯水系统运行操作规程文件号：QI-设施-2版本号：0 页号： 19/18修订状态:0发布日期：1. 目的使新厂90T纯水系统处于良好的运行状态，确保生产用水的水量及水质。2. 适用范围 新厂纯水站的运行及维护。3. 规范性引用文件QP-6.3-1 设备和设施控制程序4. 职责 本过程由工程部新厂设施水站操作人员负责并执行日常运行，纯水工程师负责日常运行与维护管理。5. 术语和定义 无6. 概况目前尚能公司纯水工艺由思捷环保科技（深圳）有限公司设计安装及调试(试运行)，产品水主要提供电池车间所有清洗工序、研发实验、PECVD尾气处理装置等的纯水供应；以及工艺冷却水、研发多晶制造的补给水等。6.1 出口水质：电导率17M.cm(25 oC) 二氧化硅15ppb 微粒150个/ml(0.5m)细菌10个/ml 出口压力0.30.05Mpa6.2 主要工艺流程（流程图见附页，见图1） 原水 变频泵 砂滤器 保安过滤 UF装置 UF水箱 一级RO供给泵 阻垢剂 碳滤 保安过滤 一级RO增压泵 一级RO装置 一级RO水箱 NaOH 二级RO供给泵 保安过滤 二级RO增压泵 二级RO装置 二级RO水箱 循环泵 混床 变频增压泵 0.45m过滤器回流 紫外线杀菌器 0.22m过滤器 用户6.3 前处理设备操作规程（见图2）。6.3.1 前处理区域的划分是从原水池到超滤水箱。6.3.2 原水池为地下水池，容积1200m3。6.3.3 变频原水泵、砂滤反洗泵安装在地下泵房，由管道接至纯水站房。6.3.4 变频原水泵最大流量150 m3/hr34m。6.3.5 板式热交换器提升原水温度，其有效换热面积为25m2，最大工作压力0.5Mpa，通常设置温度到252 oC。6.3.6 砂过滤器直径d3600mm，最大工作压力0.5Mpa，最大过滤流量150 m3/hr，最大流速14m/hr。6.3.7 前过滤器两台并联，每台内装50支40”滤芯，其过滤精度为5m，最大工作压力0.3Mpa，滤芯最大工作压差P0.1Mpa。6.3.8 超滤装置分为（A、B）2组，每组分别由55支8”超滤膜元件组合而成。最大产水流量为62.5 m3/hr/组25 oC。最小浓水排放量为12 m3/hr/组。6.3.9 超滤装置的最大工作压力为0.3Mpa，最大跨膜压差不得大于P0.15Mpa。6.3.10 超滤水箱为玻璃钢缠绕圆柱立式水箱，容积80m3。6.4 准备工作6.4.1 确认动力电源和控制电源已经分别送到现场和控制盘。6.4.2 确认控制用压缩空气已经分别送到各现场电磁阀盘，并确认现场电磁阀盘中的压缩空气的压力是在0.50.05Mpa。所有电磁阀的手操开关都在自动状态。6.4.3 确认地下原水池中有足够的水位（液位计显示为2.5M以上），同时设定液位报警水位高于4.0M声光报警。6.5 系统阀门调整6.5.1 打开地下水池水泵吸水管总阀，变频原水泵进、出口阀。6.5.2 原水温度高于20 oC时,打开热交换器旁通阀(KV108)；温度低于20 oC时，需要对原水进行加热，则打开热交换器进口阀（KV107）和出口阀（KV109）以及蒸汽总阀和冷凝水阀（KV106）。6.5.3 打开砂过滤器工作入口阀（KV111）和工作出口阀（KV115）。6.5.4 打开超滤前过滤器的进、出口阀。6.5.5 打开超滤浓水流量调节阀（KV1232a，KV123b），用浓水流量调节阀调整超滤的浓水流量为12m3/hr。6.5.6 打开超滤反洗泵的进、出口阀，用超滤反洗泵出口阀调整超滤反洗时的流量为120m3/hr。6.6 电气和自控操作6.6.1 合上变频原水泵、超滤反洗泵的主回路电源开关，在操作盘上将其选择开关置于“自动”。6.6.2 以操作员身份登录操作系统，打开超滤的操作界面，用鼠标点击超滤启动按钮，然后对所需要的操作予以确认。6.6.3 前处理工艺及系统参数设置（需有管理员权限）6.7 砂滤反洗6.7.1 砂滤反洗的间隔视季节和原水水质而定，砂滤反洗时超滤必须停止运行，所有阀门均在关闭状态。6.7.2 前水反洗打开砂滤反洗进水阀（KV112）、反洗排水阀（KV113），砂滤反洗水泵进、出口阀门，用砂滤反洗水泵出口阀调整反洗流量为250m3/hr，砂滤反洗泵的出口压力为0.25Mpa。将砂滤反洗泵的选择开关旋至“手动”。开启反洗水泵进水反洗砂滤5min。6.7.3 空气擦洗（5min）打开砂滤空气入口（KV117）。6.7.4 后水反洗（5min）打开砂滤反洗出口（KV113）、反洗入口（KV112）、结束后关闭砂滤反洗泵和砂滤阀门。6.7.5 正洗（10min）打开砂滤正洗出口（KV114）、工作入口阀（KV111），以及原水变频泵进、出口阀和从原水泵出口至砂滤的管路系统上的相关阀门。将变频原水泵的选择开关旋至“手动”，砂滤正冲洗10min。结束后关闭变频原水泵和砂滤阀门，转入待用。6.8 超滤的化学清洗6.8.1 A化学清洗标准： 1过流压差上升至0.02 Mpa (25oC)，2.产水量下降至45m3/H(25oC)以下 B化学清洗配方： 碱洗：ROLP1(思捷) 40L+ ROLP2（思捷）40Lg+ 2m3纯水/组 酸洗：柠檬酸（固体）80Kg+2m3纯水/组6.8.2 依据超滤的污堵成因，选择和确定洗液的配方和合适的浓度。以不损伤超滤膜为前提取得最好的清洗效果。（可参考膜供应商的技术手册）6.8.3 配置洗液（推荐选用得到膜制造商认证的商业产品）提高洗液的温度对清洗效果有所帮助，但一般以不超过40oC为好。6.8.3.1 安装新的化学清洗用过滤器滤芯，规格为40”5m，数量7支。6.8.3.2 打开清洗水箱补水阀（一期MV208），向清洗水箱内加水至所需液位。6.8.3.3 依据所需要配置的洗液浓度，加入化学药品。6.8.3.4 打开循环阀（一期MV206）、清洗水泵进出口阀（一期MV204、一期MV207），启动清洗水泵对洗液进行搅拌10min，使之充分混合均匀。6.8.3.5 将需要进行化学清洗的某一组超滤停止运行，关闭浓水阀（KV123），打开化学清洗入口阀（KV125）、产水循环阀（KV124）和洗液循环阀（KV126），对超滤系统进行循环清洗。循环清洗所需要的时间视具体情况而定，化学清洗的流量一般控制在4555 m3/hr。6.8.3.6 清洗结束后，停止清洗泵、排空清洗水箱内洗液，再次向清洗水箱内补水。启动清洗水泵对超滤系统进行循环漂洗10min。超滤重复漂洗34次直到PH试纸测试超滤产水口出水为中性，结束后排空清洗水箱，恢复所有操作过的阀门。6.9 巡检内容及日常管理6.9.1 水箱液位。6.9.2 各工段工作压力、流量。6.9.3 各水泵运行时的声音、温度。6.9.4 按水泵供应商的要求，每2000小时更换水泵润滑油（3#锂基脂）原水泵和超滤反洗泵。7. 一级反渗透设备的操作说明（见图3）7.1 概述7.1.1 一级反渗透设备区域的划分是从超滤水箱开始到一级反渗透产品水箱为止。7.1.2 一级反渗透设备由一级反渗透供给泵、活性炭过滤器、加药装置、保安过滤器、一级反渗透高压泵、一级反渗透装置和一级反渗透水箱组成。7.1.3 一级反渗透供给泵3台，工作流量为70 m3/hr30m。7.1.4 活性炭过滤器直径3600mm，最大工作压力0.5Mpa，最大过滤流量140m3/hr，最大流速14m/hr。7.1.5 保安过滤器两台并联，每台内装35支40”滤芯，其过滤精度为5m，最大工作压力0.5Mpa，滤芯最大工作压差P0.10 Mpa。7.1.6 高压泵2台，工作流量为70 m3/hr150m。7.1.7 一级反渗透装置分为2组，每组分别由54支BW30-400的膜元件组合而成。装置为二段式6：3排列。7.1.8 一级反渗透装置的最大产水量为53 m3/hr25 oC，最小浓水排放量为15 m3/hr25 oC，系统最大回收率75%，系统脱盐率大于95% 。系统最大工作压力1.5 Mpa25oC7.1.9 一级反渗透水箱为玻璃钢缠绕圆柱立式水箱，容积80m3。7.2 准备工作7.2.1 确认动力电源和控制电源已经分别送到马达启动中心和控制盘。7.2.2 确认控制用压缩空气已经分别送到各现场电磁阀盘，并确认现场电磁阀盘中的压缩空气的压力是在0.50.05Mpa。所有电磁阀的手操开关都在自动状态。7.2.3 配置及校正阻垢剂7.2.3.1 将阻垢剂（思捷ROAS）原液和稀释水按1：9的比例稀释，其浓度为10%（V/V）。贮存在阻垢剂箱内。7.2.3.2 校正阻垢剂计量泵的吐出量15L/hr（阻垢剂的添加量为9.5ppm）。7.3 系统阀门调整7.3.1 打开一级反渗透供给泵和冲洗泵的进、出口阀。7.3.2 打开活性炭过滤器的工作入口（KV201）、工作出口（KV205）。7.3.3 打开保安过滤器的进、出口阀。7.3.4 打开一级反渗透高压泵的进口阀（KV313），开少许一级反渗透装置，工作压力调节阀（KV314）（当系统启动后用KV314调整系统产品水总流量为53 m3/h）r，打开一段产品水出口阀（KV315）（当系统启动后用KV315调整一段产品水流量为45m3/hr）和二段产品水出口阀（KV316）（当系统启动后用KV316调整二段产品水流量为18.0 m3/hr），打开一、二段隔离阀（KV317）、浓水流量调节阀（KV318）当系统启动后用KV318调整浓水流量为15m3/hr。7.3.5 打开一级反渗透产品水去一级反渗透水箱的阀门（KV321）。7.4 电气和自控操作7.4.1 合上一级反渗透供给泵、一级反渗透高压泵、冲洗泵的主回路电源开关，在操作界面上将其选择开关置于“自动”。7.4.2 以操作员身份登录操作系统，打开反渗透的操作界面，用鼠标点击一级反渗透启动按钮，然后对所需要的操作予以确认。7.4.3 一级反渗透A、B可设置手动切换和自动切换优选启动，视具体情况由操作员确定。7.4.4 一级反渗透工艺及系统参数设置（需有管理员权限）。7.5 活性炭过滤器反洗（一般每年清洗12次）7.5.1 活性炭过滤器反洗的间隔视季节和水质而定，活性炭过滤器反洗时一级反渗透必须停止运行，活性炭过滤器所有阀门均在关闭状态。反洗（20min）打开活性炭过滤器反洗出口（KV201）、反洗入口（KV202）、反洗水泵进、出口阀门，用反洗进口阀调整反洗流量约为150m3/hr。将反洗泵的选择开关旋至“手动”。结束后关闭反洗泵和复原活性炭过滤器阀门。7.5.2 正洗（10min）打开活性炭过滤器正洗出口（KV204）、工作入口阀（KV201），以及一级反渗透供给泵进、出口阀。将一级反渗透供给泵的选择开关旋至“手动”，结束后关闭一级反渗透供给泵和复原活性炭过滤器阀门，转入待用。7.6 一级反渗透的化学清洗7.6.1 A.一级反渗透化学清洗标准: 1.一段进口工作压力上升至1.5 Mpa以上(25oC);2.淡水出水流量小于40 m3/H(25oC); 3.RO出口电导率大于20 us/cm。 B.化学清洗配方： 碱洗：ROLP1 50Kg+ROLP2 50Kg +2.5 m3纯水/每套 酸洗：ROHP1 100Kg+2.5 m3纯水/每套7.6.2 依据反渗透膜的污堵成因，选择和确定洗液的配方和合适的浓度。以不损伤反渗透膜为前提取得最好的清洗效果。（可参考膜供应商的技术手册，通常分为两种，即维护清洗和恢复性能的清洗。以标准化后的系统工作参数为依据，如果段间压差上升15%或系统脱盐率下降15%视为有交严重的污堵或结垢）7.6.3 配置洗液（推荐选用得到反渗透膜制造商认证的商业产品）提高洗液的温度对清洗效果有所帮助，但一般以不超过40oC为好。7.6.3.1 安装新的化学清洗用过滤器滤芯，规格为40”5m，数量7支。7.6.3.2 打开清洗水箱补水阀（一期MV208），向清洗水箱内加水至所需液位。7.6.3.3 依据所需要配置的洗液浓度，加入化学药品。7.6.3.4 打开循环阀（一期MV206）、清洗水泵进出口阀（一期MV204、一期MV207），启动清洗水泵对洗液进行搅拌min，使之充分混合均匀。7.6.3.5 将需要进行化学清洗的某一组一级反渗透装置停止运行。7.6.3.6 一段清洗关闭一段至二段隔离阀（KV317）一段产品水出口阀（KV315），打开一段化学清洗入口阀（KV331）和出口阀（KV332），关闭洗液循环阀（KV333），对一级反渗透一段进行循环清洗。循环清洗所需要的时间视具体情况而定，化学清洗一段的流量一般控制在4555 m3/hr。清洗结束前手动打开一级反渗透产品水排放总阀（KV322），打开一段产品水出口阀（KV321）后，才能停止清洗水泵。7.6.3.7 二段清洗关闭一段至二段隔离阀（KV317）二段产品水出口阀（KV316），打开二段化学清洗入口阀（KV334）和出口阀（KV335），关闭洗液循环阀（KV3366），对一级反渗透二段进行循环清洗。循环清洗所需要的时间视具体情况而定，化学清洗二段的流量一般控制在2530 m3/hr。清洗结束前手动打开一级反渗透产品水排放总阀（KV322），打开二段产品水出口阀（KV316）后，才能停止清洗水泵。7.6.3.8 水漂洗化学清洗结束后复原所有操作过的阀门，排空清洗水箱内的洗液，再次向清洗水箱内注入纯水，打开一段清洗入口阀（KV331）和出口阀（KV332）、打开二段清洗入口阀（KV334）和出口阀（KV335），打开一段至二段隔离阀（KV317），打开一段产品水出口阀（KV315）和二段产品水出口阀（KV316），手动打开一级反渗透产品水排放阀（KV322）和快冲出口阀，启动清洗水泵并根据清洗水箱内水的消耗量向清洗水箱内添加纯水，用PH试纸测量一级反渗透的排出液的PH值为中性时视为漂洗完毕。7.6.3.9 拆除清洗过滤器内部的滤芯，复原所有操作过的阀门，将一级反渗透系统转入待用。7.7 巡检内容及日常管理7.7.1 水箱液位。7.7.2 各级压力、流量。7.7.3 各水泵运行时的声音、温度。7.7.4 按水泵供应商的要求，每2000小时更换水泵润滑油（3#锂基脂）一级RO高压泵两台。8. 二级反渗透设备的操作说明（见图3）8.1 概述8.1.1 二级反渗透设备区域的划分是从一级反渗透水箱开始到二级反渗透产品水箱为止。8.1.2 二级反渗透设备由二级反渗透供给泵、加药装置、保安过滤器、高压泵、二级反渗透装置和二级反渗透水箱组成。8.1.3 二级反渗透供给泵工作流量为106 m3/hr25oC。8.1.4 保安过滤器内装35支40”滤芯，其过滤精度为5m，最大工作压力0.5Mpa，滤芯 最大工作压差P0.10Mpa。8.1.5 高压泵工作流量为90 m3/hr150m。8.1.6 二级反渗透装置由96支BW30-365FR的膜元件组合而成。装置为两段式11：5排列。8.1.7 二级反渗透装置的最大产水量为90 m3/hr25oC，最小浓水排放量为16 m3/hr25oC系统最大回收率85%，系统脱盐率大于85% 。系统最大工作压力1.5 Mpa25oC。8.1.8 二级反渗透水箱为玻璃钢缠绕圆柱立式水箱，容积80m3。8.2 准备工作8.2.1 确认动力电源和控制电源已经分别送到马达启动中心和控制盘。8.2.2 确认控制用压缩空气已经分别送到各现场电磁阀盘，并确认现场电磁阀盘中的压缩气体的压力是在0.50.05Mpa。所有电磁阀的手操开关都在自动状态。8.2.3 配置及校正氢氧化钠。8.2.3.1 将分析纯氢氧化钠用一级反渗透的产品水稀释成浓度为5%（V/V）稀溶液。贮存在氢氧化钠箱内。8.2.3.2 校正氢氧化钠计量泵，将氢氧化钠计量泵的流量设置为10L/hr。8.3 系统阀门调整8.3.1 打开二级反渗透供给泵和冲洗泵的进、出口阀。8.3.2 打开保安过滤器的进、出口阀。8.3.3 打开二级反渗透高压泵的进口阀（KV341），开少许二级反渗透装置工作压力调节阀（KV342）（当系统启动后用KV342调整系统产品水总流量为90 m3/hr），打开一段产品水出口阀（KV343）（当系统启动后用KV343调整一段产品水流量为60m3/hr）、二段产品水出口阀（KV344）（当系统启动后用KV410调整二段产品水流量为30m3/hr），打开一、二隔离阀（KV345）、浓水流量调节阀（KV346）（当系统启动后用KV346调整浓水流量为16 m3/hr）。8.3.4 打开二级反渗透产品水去二级反渗透水箱的阀门（KV351）。8.4 电气和自控操作8.4.1 合上二级反渗透供给泵、二级反渗透高压泵、冲洗泵的主回路电源开关，在操作界面上将其选择开关置于“自动”。8.4.2 以操作员身份登录操作系统，打开反渗透的操作界面，用鼠标点击二级反渗透启动按钮，然后对所需要的操作予以确认。8.4.3 二级反渗透工艺及系统参数设置（需有管理员权限）。8.5 二级反渗透的化学清洗8.5.1 化学清洗标准及配方同一级反渗透化学清洗。8.5.2 依据反渗透膜的污堵成因，选择和确定洗液的配方和合适的浓度。以不损伤反渗透膜为前提取得最好的清洗效果。（可参考膜供应商的技术手册，通常分为两种，即维护清洗和恢复性能的清洗。以标准化后的系统工作参数为依据，如果段间压差上升15%或系统脱盐率下降15%视为有交严重的污堵或结垢）8.5.3 配置洗液（推荐选用得到反渗透膜制造商认证的商业产品）提高洗液的温度对清洗效果有所帮助，但一般以不超过40oC为好8.5.3.1 安装新的化学清洗用过滤器滤芯，规格为4”5m，数量7支。8.5.3.2 打开清洗水箱补水阀（一期MV208），向清洗水箱内加水至所需液位。8.5.3.3 依据所需要配置的洗液浓度，加入化学药品。8.5.3.4 打开循环阀（一期MV206）、清洗水泵进出口阀（一期MV204、一期MV207），启动清洗水泵对洗液进行搅拌10min，使之充分混合均匀。8.5.3.5 将需要进行化学清洗的二级反渗透装置停止运行。8.5.3.6 一段清洗关闭一段至二段隔离阀（KV345）一段产品水出口阀（KV343），打开一段化学清洗入口阀（KV361）和出口阀（KV362），关闭洗液循环阀（KV363），对二级反渗透一段进行循环清洗。循环清洗所需要的时间视具体情况而定，化学清洗一段的流量一般控制在5560 m3/hr。清洗结束前打开二级反渗透产品水排放总阀（KV352），打开一段产品水出口阀（KV343）后，才能停止清洗水泵。8.5.3.7 二段清洗关闭一段至二段隔离阀（KV345）二段产品水出口阀（KV344），打开二段化学清洗入口阀（KV364）和出口阀（KV365），关闭洗液循环阀（KV366），对二级反渗透二段进行循环清洗。循环清洗所需要的时间视具体情况而定，化学清洗二段的流量一般控制在4045 m3/hr。清洗结束前打开二级反渗透产品水排放总阀（KV352），打开二段产品水出口阀（KV344）后，才能停止清洗水泵。8.5.3.8 水漂洗化学清洗结束后复原所有操作过的阀门，排空清洗水箱内的洗液，再次向清洗水箱内注入纯水，打开一段清洗入口阀（KV361）和出口阀（KV362）、打开二段清洗入口阀（KV364）和出口阀（KV365），打开一段至二段隔离阀（KV345），打开一段产品水出口阀（KV343）、二段产品水出口阀 （KV344），打开二级反渗透产品水排放阀（KV352），启动清洗水泵并根据清洗水箱内水的消耗量向清洗水箱内添加纯水，用PH试纸测量二级反渗透的排出液的PH值为中性时视为漂洗完毕。8.5.3.9 拆除清洗过滤器内部的滤芯，复原所有操作过的阀门，将二级反渗透系统转入待用。8.6 巡检内容及日常管理8.6.1 水箱液位。8.6.2 各级压力、流量。8.6.3 各水泵运行时的声音、温度。8.6.4 按水泵供应商的要求，每2000小时更换水泵润滑油（3#锂基脂）二级RO供给泵和二级RO高压泵。9. 反渗透系统的保养和长期停运的处理方法9.1 反渗透膜须保持湿润，否则将出现通量的不可逆损失。9.2 如反渗透系统短期停运（指48小时内），应每隔24小时用纯水冲洗1次以防止微生物的生长。9.3 反渗透应保存在环境035oC的环境温度下。9.4 如果反渗透需要较长时间的保存（指48小时以上），应先对反渗透膜进行化学清洗并作灭菌处理后将膜元件浸泡在11.5%的亚硫酸氢钠或甲醛溶液中，关闭系统所有可能和空气接触的阀门，确保系统充满保护液并且隔绝空气的接触。9.5 在保存期间至少每月更换1次保护液。10. 后处理设备的操作说明（见图4）10.1 概述10.1.1 后处理设备区域的划分是从二级反渗透水箱开始到最终产品出口、回流水至二级反渗透水箱为止。10.1.2 后处理设备由循环泵、再生泵、混床、变频增压泵、UV前微滤器、紫外线杀菌器、 UV后微滤器、再生装置、等组成。10.1.3 循环泵工作流量为90 m3/hr34m。10.1.4 再生泵工作流量为16m3/hr34m。10.1.5 紫外线杀菌器流量90 m3/hr，波长254nm，灯管有效寿命8000小时。10.1.6 混床2台，可选单独或串联运行模式。混床规格d1800h3600，最大工作流量90 m3/hr，流速35m/hr，最大工作压力0.6Mpa。10.1.7 增压泵工作流量为90 m3/hr45m。10.1.8 UV前微滤器2台，内装20支40”滤芯，其过滤精度为0.45um，最大工作压力0.35Mpa，滤芯最大工作压差P0.10Mpa。10.1.9 UV后微滤器2台，内装20支40”滤芯，其过滤精度为0.22um，最大工作压力0.35Mpa，滤芯最大工作压差P0.10Mpa。10.1.10 再生装置（与一期共用）包括再生稀释水加热器、酸碱贮槽、射流吸酸碱装置等 组成，属于混床的辅助设施，是混床必不可少的组成部分。10.2 准备工作10.2.1 确认动力电源和控制电源已经分别送到马达启动中心和控制盘。10.2.2 确认控制用压缩空气已经分别送到各现场电磁阀盘，并确认现场电磁阀盘中的压缩空气的压力是在0.50.05Mpa。所有电磁阀的手操开关都在自动状态。10.2.3 确认酸、碱贮槽内有足够的再生用食品级盐酸（33%）和氢氧化钠（30%），并确保贮槽内能够补给到足够的空气而不至于在进酸碱时产生负压。10.3系统阀门调整10.3.1 打开循环泵和再生泵的进、出口阀门。10.3.2 打开紫外线杀菌器的进、出口阀门。10.3.3 调节循环泵出口阀门工作流量为90 m3/hr。10.3.4 打开混床A的二级工作入口阀（KV433a）和混床B的二级工作入口阀（KV433b）。10.3.5 打开混床A的正洗出口流量调节阀（KV434a）（混床A漂洗时用KV434a调整混床漂洗流量为40 m3/hr），打开混床B的漂洗出口流量调节阀（KV434b）（混床B漂洗时用KV434b调整混床的漂洗流量为40 m3/hr）。10.3.6 打开内循环流量调节阀的进、出口阀门（KV441、KV442）。10.3.7 打开变频增压泵的进、出口阀门。10.3.8 打开UV前后过滤器的进、出口阀门。10.3.9 打开回流水阀门（KV451）（后处理系统工作时用KV451调整回流流量为10m3/hr）。10.3.10 打开再生稀释水热交换器的进、出口阀门和蒸汽总阀及蒸汽冷凝水阀。再生稀释水的温度设置为40。10.3.11 打开浓酸供给阀（一期MV532）和浓碱供给阀（一期MV533）。10.3.12 打开混床反洗流量调节阀（KV433）（混床反洗时用KV433调整反洗流量为30 m3/hr）。10.3.13 打开混床漂洗流量调节阀（KV434）（混床漂洗时用KV434调整正洗流量为40 m3/hr）。10.3.14 打开酸稀释水流量调节阀（一期MV529）（混床进酸时用一期MV529调整酸稀释水流量为9 m3/hr）。10.3.15 打开碱稀释水流量调节阀（一期MV530）（混床进碱时用一期MV530调整碱稀释水流量为9 m3/hr）。10.3.16 打开浓酸流量调节阀（一期MV532）（混床进酸时用一期MV532调整浓酸流量使稀释后的浓度为45%）。10.3.17 打开浓碱流量调节阀（一期MV533）（混床进碱时用一期MV533调整浓碱流量使稀释后的浓度为45%）。10.4 电气和自控操作10.4.1 合上循环泵、增压泵、再生泵的主回路电源开关，在操作盘上将其选择开关置于“自动”。10.4.2 以操作员身份登录操作系统，后处理的操作画面，用鼠标点击混床的运行模式选择混床的运行启动按钮或再生启动按钮，然后对所需要的操作予以确认。10.4.3 后处理工艺及系统参数设置（需有管理员权限）。10.5 巡检内容及日常管理10.5.1 水箱液位。10.5.2 各级压力、流量。10.5.3 各水泵运行时的声音、温度。10.5.4 紫外线杀菌器的累计运行时间。10.5.5 按水泵供应商的要求，每2000小时添加水泵润滑油（3#锂基脂）。循