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1、Supplier “Copy Exact”/CE! Training Package供应供应商精确复制（商精确复制（CE!CE!）培训材料）培训材料SCM100114 QA / Quality Systems 质量保证/质量体系 Engineering / Design Control 工程/设计管控 Manufacturing / Process Controls 生产/过程控制 Management / Account Management 管理层/项目管理参加培训的部门及人员： Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary I

2、nformation SCM100114 Rev B DCO0018782培训目的培训目的为帮助Brooks的供应商理解以下内容：一 精确复制(Copy Exact)的理念理念及重要性重要性二二 关键关键零件零件的定义与 FA FA 报告的要求三三 过程控制计划过程控制计划(PCP)与过程记录过程记录(POR)的制定与遵守四 变更申请(SIARSIAR)的流程与适用类型 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018783第第一部分一部分 精确精确复制的理念及复制

3、的理念及重要性重要性Transistor Gate65 nanometer所以：所以： Brooks robots（Mag 7）和真空系列产品满足）和真空系列产品满足上述条件上述条件，应遵循，应遵循精确复精确复制的管控规定。制的管控规定。电子产品是由Brooks的终端客户生产的1.这些产品由多种集成电路或芯片组成的；2.完成一块芯片需300300多道工序；3.芯片体积随着晶体管的尺寸越变越小，现已小于6565纳米纳米/./.000002000002英寸英寸；人头发厚度约为100微米，相当于可放置10001000个个晶体管；4.尺寸缩小导致制造公差变小，那么对化学纯度、温度精确和固体杂质的控制要

4、求更加严格。Brooks 产品 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018784精确精确复制的理念及复制的理念及重要性重要性 CE！是记录和执行变更通知和批准的一种流程。 CE！是半导体行业里的术语，其含义和其他行业中使用的“冻结流程”，“锁定流程”或者“受控管理”是一样的。 对Brooks 的供应商来说，申请变更需要提前270天书面通知。因为Brooks 需要时间来评估这个申请并依据客户的时间表通知Brooks的客户。 Copyright 2014 by B

5、rooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018785精确精确复制的理念及复制的理念及重要性重要性原材料零部件工作地点S.O.P.流程机器/设备软件任何影响产品形式、配合、功能、外观或性能的因素都是改变。这包括所有供应商和次级供应商材料、过程、程序和设备。变更控制涉及产品生产过程的每个方面，并且所有Brooks产品必须有严格的变更管控。任何改变需要具备控制规划、风险评估、资格评审和及时沟通，让Brooks可以完成规划、评估风险和资格评审的工作。 Copyright 2014 by Brooks Auto

6、mation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018786精确复制对精确复制对Brooks客户的重要性客户的重要性 防防止工艺参数波动止工艺参数波动半导体行业需要严格的过程管控严格的过程管控，因为： 晶片价格昂贵，一片300mm的晶片价值$10,000 $10,000 到$100,000 $100,000 ； 生产设备工艺参数的波动，会导致晶片合格率急剧下降； 设备工艺参数波动的原因包括：设备零件的材料发生改变；设备的组件发生改变；生产方式或测试方法发生改变。n查明工艺参数波动的原因与维修，费用超过$ $50,00050,00

7、0！ 为预防未经批准的改变和由此产生的额外成本，为预防未经批准的改变和由此产生的额外成本，CE！要求用过程控制计！要求用过程控制计划（划（PCP）来保证）来保证产品性能的可重复性。产品性能的可重复性。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018787精确复制对精确复制对Brooks客户的重要性客户的重要性 合格率与停机费用合格率与停机费用1. 违反CE！会导致芯片合格率下降；合格率每下降0.1%，客户损失超过$300,000$300,000。2. 事故费用包括

8、：保修保修和服务费用和服务费用：原材料和杂质导致失效的维修成本是工件本身的4至400倍调查调查费用费用： 每笔事故调查费$2,000$2,000至至$ $250,000250,000重审重审费用费用：返修后，仍需额外的时间和资源重审工艺过程机会机会损失成本损失成本：若首检失败，客户不接受工艺，那么机会损失超过$400,000 供应商违反供应商违反CE!CE!造成的损失，客户造成的损失，客户决算决算后由供应商全部承担。后由供应商全部承担。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev

9、 B DCO0018788精确复制对精确复制对Brooks客户的重要性客户的重要性客户遇到下面的情况会非常不满！ 微小的改变微小的改变不严格的不严格的过程管过程管控控 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018789精确复制对精确复制对Brooks客户的重要性客户的重要性 客户一旦对过程管控失去信心，就会要求我们做更多的工作：“5-why”失效调查报告；内外部供应商资格证明；过程控制计划；质量管理计划；开展过程纠错调研会议；提交纠错措施的相关报告； Copyr

10、ight 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187810 关键零件是对半导体制造设备的性能有直接影响的零件。这些零件对晶片的产晶片的产出合格率出合格率有影响，主要表现在：影响晶片的环境，流程和维修周期；影响过程控制和发货体系；影响系统可靠性和使用寿命。BrooksBrooks的关键零件的关键零件：包含关键特征的产品；工艺较复杂或对性能有要求的产品；Brooks指明供应商生产的产品具有供应商过程控制、关键特征注释和检查表的标识的产品。第第二二部分部分 关键零件与关键零件与FA报

11、告报告 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187811如何知道我们在制造如何知道我们在制造Brooks的关键零件？的关键零件？ PO中注明为Critical的零件/组件的； 供应商被通知为关键部件制造商的； 图纸中注明 “Critical Part”的； 供应商提供FA资质报告和工艺证明或过程控制计划要求的。FA报告的主要内容报告的主要内容 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Info

12、rmation SCM100114 Rev B DCO00187812FA报告主要包括：封面；图纸-气泡图；尺寸报告；关键零件的FA报告必须包含 PCP PCP 和 PORPOR如客户要求，还应包括：PCP 过程控制计划；POR 过程记录；过程能力分析报告及Cpk数据；原材料材质报告及第三方检验报告；制造商承诺书；SIAR表；记录Cpk数据的MPJ文件； Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187813操作操作描述产品/过程要求抽检频率记录方法控制方法/测量

13、Process Control Plan过程控制计划过程控制计划10原材料进料检验认证要求.750 Dia. (+/- .005) 303 SST 规格认证游标卡尺含铬量检验-目测每批根据AQL1.0来检合格/不合格表20车床/切断工作台-加工中心16无程序-手动车外圆 .630+.005 -.000 切断总长1.090 1.100两端倒角大约.0150 1” 千分尺游标卡尺目测首件和末件首件和末件首件和末件首次/末次检验表首次/末次检验表首次/末次检验表30车加工工作台-加工中心19A程序代码#11567-版本C-257893位.281 - .283 Dia.244 - .246 Dia.0

14、93 - .098 Dia.140 - .145 Dia.126 - .127 Dia.005 - .010 RadiusPIN规PIN规PIN规PIN规PIN规 (.1260, .1265, .1270)半径比较仪1.0 AQL1.0 AQL1.0 AQL1.0 AQL0.4 AQL1.0 AQL合格/不合格表格记录变化数据表合格/不合格表格40钻孔钻床手动.187 +/- .010.005 - .010 RadiusPIN规 钻孔时保证飞边最小半径比较仪1.0 AQL1.0 AQL合格/不合格表50去毛刺砂轮所有径向无毛刺目测100%全检首次/末次检验表60电镀(外协加工) 类型 II 消

15、光处理Brooks 3544095镀层厚度电镀商提供每批化学检验书目测CTI 电镀抛光 / 横截面蚀刻根据工具测量说明.1.0 AQL检验表70终检所有尺寸符合图纸规格Brooks蓝图 /说明书检查版本为PO1.0 AQL检验表供应商:XYZ Machine8185078G001工件代码:APCP 版本 #:过程控制过程控制计划计划(PCP) Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187814过程记录过程记录(POR) Copyright 2014 by Br

16、ooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187815FAFA报告报告封面、关键封面、关键零件的零件的图纸、图纸、尺寸报告尺寸报告 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187816FAFA报告报告原材料材质报告原材料材质报告 & & 过程过程能力分析报告能力分析报告过程能力分析报告过程能力分析报告原材料材质报告原材料材质报告 PCPPCP和和PORPO

17、R文件应与文件应与FAIFAI报告一并提交报告一并提交 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187817FAFA报告的报告的提交与审核提交与审核 对于关键关键零部件零部件，供应商需提供PORPOR复印本复印本和PCPPCP复印本复印本作为FA过程的证明。 PORPOR和和PCPPCP参考数据将作为参考数据将作为FAFA记录的一部分记录的一部分。 提交后，Brooks质量工程师或第三方质量工程师将对POR进行审核。 我们应对次级供应商的POR进行常规审核常规审

18、核。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO001878181. 供应商审核Brooks要求2. 制定每步的工艺3. 定义每步控制要素4. 定义如何采集测量数据6.完成最终检验报告与/或合格证明1 建立过程记录:2 问题/ 改进的方法?通过SIAR提交给客户1 过程优化;2 过程失效模式及后果分析(PFMEA);3 Poka-Yoke 防错措施利用追溯质量管理计划和实施SPC来验证工序能力验证工序能力5. 定义纠正措施方法7. FA和资质证明文件提交Brooks检

19、查和审核Brooks发出关键零件通知供应供应商行为商行为锁定锁定POR好的控制计划需从5Ms & 1 E方面入手Manpower人力Methods方法Measurement测量Material材料Machines机器& Environment环境PCP 计划建立流程计划建立流程第三部分第三部分 过程控制过程控制计划计划(PCP)(PCP)与过程记录与过程记录(POR)(POR)的建立流程的建立流程 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO001878

20、19过程控制过程控制计划计划(PCP)与过程记录过程记录(POR)(POR)的的遵守遵守 在没有预先在没有预先通知通知Brooks并获得批准的并获得批准的前提前提下，我下，我们和次级供应商一定要们和次级供应商一定要遵循遵循PCP和和POR文件，不允许文件，不允许违背。违背。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187820违反违反PCPPCP案例案例BrooksBrooks案例案例根本原因：根本原因： 1. 因指定材料的短缺，次级供应商改换成“高级”的石英材

21、料。新材料是不耐气体侵蚀处理的。影响及后果：影响及后果：1. 为防止粒子污染产生，客户需清洗并购买额外的清洁工具包来保证客户设备可使用，还需配置特殊的光学测试设备来检测内外库存有无被不合适的原料造成污染。2. 损失总额：a) 次级供应商承担：大约$100,000（材料和测试费用）b) 客户承担： 超过$1300,000（产品召回、服务费、客户折算费） 问题描述：问题描述： 客户真空设备腔中出现大量细小微粒。Particlesfrom Quartz Window Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information S

22、CM100114 Rev B DCO00187821违反违反PCPPCP案例案例ETLAETLA案例案例根本原因：根本原因： 1. 违反工艺流程规定的“先刻字后检验”的工艺顺序，且为标识产品在其内壁贴标签；2. 标签痕迹残未及时清理，直接流到客户。影响及后果：影响及后果：1. 影响客户正常生产流程，引起客户投诉客户投诉；2. 内部调查所有库存，并对产生的问题纠错整改，花费花费大量时间和人力资源大量时间和人力资源；3. 客户对公司的满意度下降，对公司的声誉造成了不良影响不良影响。BKA 210428未按工艺流程操作，随意贴标签。问题描述：问题描述： 客户反映Mag 7 BKA210428产品内壁

23、上残留标签痕迹。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187822我们必须知道！我们必须知道！对于关键零件， 没有过度过度管管控控的说法； 没有微小改变微小改变的说法；请记住： 小改变小改变带来大问题大问题。 我们作为Brooks关键零部件供应商，要严格按照已确定的过程记录（过程记录（PORPOR）建立可靠的过程控制计划（过程控制计划（PCPPCP）。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary

24、 Information SCM100114 Rev B DCO00187823第四部分第四部分 供应商发起变更申请供应商发起变更申请(SIAR)(SIAR)1. 工程工程反馈反馈是在原型和设计阶段为降低成本和提高可加工性来反馈建议的。SIAR表就是用来用来提交和追踪提交和追踪这些建议的。2. SIAR表用来申请物料或过程记录的变更；也可申请POR的弃权，特殊要求或图纸的说明，或建议新零件的加工改进方法。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187824SI

25、ARSIAR申请流程申请流程与与周期周期鉴定计划完成，得到书面鉴定结论鉴定计划完成，得到书面鉴定结论 理由是否具备说服力？理由是否具备说服力？过程记录不允许改变过程记录不允许改变充分的鉴定计划充分的鉴定计划?Brooks 与供应商沟通和预测变更的阶段与供应商沟通和预测变更的阶段 变更理由是否合理变更理由是否合理过程记录不允许改变过程记录不允许改变 判定变更理由的正当性；判定变更理由的正当性； 对提议的变更制定鉴定计划对提议的变更制定鉴定计划 制定可量化的前期实现标准制定可量化的前期实现标准 数据达到了实现标准数据达到了实现标准?过程记录不允许改变过程记录不允许改变批准变更批准变更!NoYesN

26、oYesNoYesYesNo 如果如果Brooks找找不到合理的变更理不到合理的变更理由，申请极有可能由，申请极有可能被拒绝。被拒绝。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187825SIARSIAR申请流程申请流程与与周期周期整个供应链中的变更请求传递整个供应链中的变更请求传递SupplyBase供应商供应商关键零部件的过程记录Brooks Automation产品过程记录CapitalEquipmentOEMs首级设备首级设备制造商制造商ENDUSER终

27、端客户终端客户集成电路生产商1. 1. 材料、工艺或者次级供应商的变更需由材料、工艺或者次级供应商的变更需由BrooksBrooks和客户对过程和客户对过程/ /可靠性资格进行审核批可靠性资格进行审核批准。因此，锁定准。因此，锁定PORPOR后不鼓励供应商的变更。后不鼓励供应商的变更。2. 2. 计划变更需提前计划变更需提前270270天通知，以有足够的时间满足工艺的变更和确定。供应商和次级天通知，以有足够的时间满足工艺的变更和确定。供应商和次级供应商需要建立精确复制交流规则，并保证在供应商需要建立精确复制交流规则，并保证在270270天内产品天内产品和和过程均可用。过程均可用。资格测试阶段资

28、格测试阶段ASub-Supplier次级供应商次级供应商关键零部件的材料、表面处理或子装配体的过程记录执行测试阶段执行测试阶段C资格测试阶段资格测试阶段B供应商变更申请提交和审批细则SIAR提交和审批细则原始设备制造商CE!变更申请通知与首件提交细则精确复制变更申请提交细则 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187826SIARSIAR申请表申请表的提交的提交1. 凡涉及工艺的改进或产品寿命终结的计划变更，需提前270天天通知客户，必要时需进行产品合格测试

29、；2. SIAR表以邮件的形式提交至Brooks采购部；3. 变更开始执行的时间开始执行的时间将在SIAR申请的反馈表中定义。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187827变更变更类型类型Brooks SIAR 批准实例批准实例供应商提供供应商提供支持数据支持数据Brooks /Brooks /客户资格测试可能性客户资格测试可能性(270 days SIAR)(270 days SIAR)物料清单-元件新电子元件寿命周期结束，需要更换电子元件-测试证明或

30、数据- 替换数据中 高无法达到要求的零件或原材料不能出现在次级供应商的管理中，但是可通过邮件或SIAR申请交流合作需替换的原始信息低 高取决于零件子件规格变更寿命周期结束,新的元件规格替换故障元件-测试证明或数据-功能风险分析中 高原材料-规格变更寿命周期结束： 1. 末端执行器踏板的新聚合物；2. 轴承的新润滑液；3. 金属合金替代物纯度/机械规格,需求和使用测试.高原材料-供应商变更1. 皮带轮制造商A更改为B2. 次级供应商涂层工艺A更改为B如果是关键零件,需要Brooks/终端客户的合格性测试中 高特殊工艺-过程变更电镀供应商希望更改过程记录（次数/频率） 没有Brooks的批准不能更

31、改中 高特殊工艺-供应商变更新的阳极氧化/电镀供应商需要与Brooks考核供应商中 高生产位置变更1. 生产场地扩展2. 生产场地转移/外包- 转移并进行资格测试计划，现有生产影响分析-同上并且重新进行资格考核低 中人员变动变更如果Brooks的生产转交新的工作组或者制造场地扩展/转移，需要提交通知。（一般的轮岗培训不需要提交申请）-新员工的资质达标计划低供应商发起工程变更类型供应商发起工程变更类型 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187828变更变更类

32、型类型Brooks SIAR 批准实例批准实例供应商提供供应商提供支持数据支持数据Brooks /Brooks /客户资格测试可客户资格测试可能性能性(270 days SIAR)Machinery机械- 不同的加工中心- 新的焊接/冲压/装配设备- 新的夹具、工作台设计- 不同类型的工艺修改后的POR零件的FAI报告供应商或Brooks的合格认证证书比较风险分析低 中Material材料- 不同机油，精加工材料- 不同原材料/供应商- 物料清单零件的装配、外形、功能变更材质规格比较风险分析FFF变更成本理由中 高Methods方法- 工艺变更- 时间/温度/化学-物理条件- 清洁或者包装更改

33、比较风险分析 产量/成本变更理由性能数据中 高Metrology计量-基于过程控制论证，希望减少抽样频率或者QA计划标准-希望更改测量设备/方法- “黄金”准则更改/重置变更理由准确性、可重复性、可追溯性的测量方法经过验证的新的“黄金标准”中Manpower人力只有当较多数人力扩充，大面积人力转移或者有资质的人员容量较小时才需要申请（轮岗培训无需提交申请）提供培训计划和为扩张或覆盖事件的影响分析低Environment环境只有当设备更换/转移，会影响零件/材料储存与清洁时适用。改变现有设施理由新的无尘室/清洗设备的合格数据低Brooks 或产业的规定供应商若对如何实施某一工艺来满足Brooks

34、或产业的要求不了解使用SIAR申请声明或者会议以便完成最终的过程记录文件。不适用需要申请的工程变更需要申请的工程变更 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187829不需要申请的变更不需要申请的变更Category类型类型Example(s)举例举例5 Ms & E Categories5Ms & E 类型若文件表明“完结状态”的。若现有的过程记录没有澄清或者省略 Brooks FA或者合格工件中常使用的工艺步骤。同意用标记修改主文本记录或者过程记录直到正式文本更新。Manpower人力我们希望员工被培训认证资格后并/或得到监督来确定过程记录的执行，而对于普通的轮岗培训不需要申请通知。（较多设施的扩展/转移/变动需要提前通知Brooks）Normal Maintenance一般的维护刀具，库位等的替换等,若遵循公司已建立的规定并依据过程记录或公司标准操作程序，无需提出申请。Normal