电阻率和掺杂浓度的比率关系表.xls

掺掺磷磷硅硅的的掺掺杂杂浓浓度度与与电电阻阻率率换换算算表表 nNb cm 3 PHOS cm 0 000 100 200 300 400 500 600 70 1 00E 04 1 60E 211 401 201 109 44E 208 507 707 00 2 00E 045 505 104 804 504 304 003 803 60 3 00E 043 153 022 892 782 672 582 482 40 4 00E 042 172 102 041 981 931 871 821 78 5 00E 041 651 611 571 531 501 471 441 41 6 00E 041 321 301 271 251 231 201 181 16 7 00E 041 101 091 071 051 041 021 009 90E 19 8 00E 049 489 349 219 098 978 858 738 62 9 00E 048 308 198 098 007 907 817 727 63 1 00E 037 386 646 045 535 114 744 424 14 2 00E 033 483 303 142 992 862 732 622 51 3 00E 032 242 162 082 011 941 881 821 76 4 00E 031 611 561 521 471 431 401 361 32 5 00E 031 221 191 161 141 111 081 061 03 6 00E 039 659 449 249 048 848 668 478 30 7 00E 037 807 657 497 357 207 066 936 80 8 00E 036 426 306 196 025 965 865 755 65 9 00E 035 365 275 185 095 014 924 844 76 1 00E 024 533 873 342 912 552 252 001 78 2 00E 021 311 201 091 009 26E 178 567 947 39 3 00E 026 045 685 355 054 774 524 294 08 4 00E 023 533 383 233 102 982 862 752 65 5 00E 022 372 292 222 152 082 021 951 90 6 00E 021 741 691 651 611 561 531 491 45 7 00E 021 351 321 291 271 241 211 191 16 8 00E 021 101 081 061 041 029 99E 169 819 64 9 00E 029 169 018 878 728 598 458 328 20 1 00E 017 846 836 045 404 884 454 093 78 2 00E 013 072 882 722 582 452 332 222 12 3 00E 011 871 801 731 671 611 561 511 46 4 00E 011 341 301 261 231 201 171 141 11 5 00E 011 041 029 94E 159 739 539 349 158 97 6 00E 018 488 328 188 037 897 767 637 51 7 00E 017 167 056 946 836 736 646 546 45 8 00E 016 196 106 025 955 875 795 725 65 9 00E 015 455 385 325 265 205 145 085 03 1 00E 004 864 394 003 683 403 162 952 77 2 00E 002 342 222 122 021 931 851 781 71 3 00E 001 531 481 431 391 351 311 271 23 4 00E 001 141 111 081 061 031 019 86E 149 64 5 00E 009 058 868 698 528 368 208 057 91 6 00E 007 507 377 257 137 026 916 806 70 7 00E 006 406 316 226 136 055 975 895 81 8 00E 005 585 515 455 385 315 255 195 13 9 00E 004 954 894 844 794 744 684 634 59 1 00E 014 454 033 693 403 152 942 752 59 2 00E 012 192 091 991 901 821 751 681 62 3 00E 011 451 401 361 321 281 241 211 17 4 00E 011 081 061 031 019 83E 139 619 409 20 5 00E 018 648 468 308 147 997 847 707 56 6 00E 017 187 066 946 836 726 626 516 42 7 00E 016 146 055 965 885 805 725 655 57 8 00E 015 365 295 235 165 105 044 984 92 9 00E 014 764 704 654 604 554 504 454 41 1 00E 024 273 883 553 283 042 832 652 50 2 00E 022 102 001 901 801 801 701 601 60 3 00E 021 401 401 301 301 201 201 201 10 4 00E 021 001 001 009 80E 129 59 309 108 90 5 00E 028 408 208 007 907 707 607 507 30 6 00E 027 006 806 706 606 506 406 306 20 7 00E 026 005 905 805 705 605 605 505 40 8 00E 025 205 105 105 005 004 904 804 80 9 00E 024 604 604 504 504 404 404 304 30 1 00E 034 203 803 503 203 002 802 602 40 2 00E 032 102 001 901 801 701 601 601 50 3 00E 031 401 301 301 201 201 201 101 10 4 00E 031 001 009 70E 119 59 309 108 908 70 5 00E 038 208 007 807 707 507 407 307 10 6 00E 036 806 706 606 506 406 306 206 10 7 00E 035 805 705 605 605 505 405 305 30 8 00E 035 105 004 904 904 804 804 704 70 9 00E 034 504 504 404 404 304 304 204 20 1 00E 044 003 703 403 102 902 702 502 40 2 00E 042 001 901 801 701 701 601 501 50 3 00E 041 301 301 301 201 201 101 101 10 4 00E 041 009 70E 109 509 309 108 908 708 50 5 00E 048 007 807 707 507 407 207 107 00 6 00E 046 606 506 406 306 206 106 005 90 7 00E 045 705 605 505 405 405 305 205 20 8 00E 045 004 904 804 804 704 704 604 60 9 00E 044 404 404 304 304 204 204 104 10 Annual book of ASTM Standards 1982 Part43 F723 81 掺掺磷磷硅硅的的电电阻阻率率与与掺掺杂杂浓浓度度换换算算表表 Nb PHOS n cm 0 800 90 cm 3 0 000 100 200 300 400 50 6 405 901 00E 124 30E 033 93 603 303 002 80 3 503 302 00E 122 102 001 901 901 801 70 2 322 243 00E 121 401 401 301 301 301 20 1 731 694 00E 121 101 001 009 90E 029 709 40 1 381 355 00E 128 508 308 208 007 907 70 1 141 126 00E 127 107 006 906 706 606 50 9 759 617 00E 126 106 005 905 805 705 70 8 518 408 00E 125 305 205 205 105 105 00 7 547 469 00E 124 704 704 604 604 504 50 3 903 681 00E 134 303 903 503 303 002 80 2 412 322 00E 132 102 001 901 801 801 70 1 711 663 00E 131 421 371 331 291 251 22 1 291 264 00E 131 071 041 029 92E 019 699 48 1 019 87E 185 00E 138 538 378 218 057 907 76 8 137 966 00E 137 127 006 896 786 686 57 6 676 547 00E 136 116 025 945 865 785 70 5 555 468 00E 135 355 285 225 165 105 04 4 684 619 00E 134 764 714 664 614 564 51 1 601 451 00E 144 293 903 583 313 072 87 6 896 442 00E 142 162 061 971 881 801 73 3 883 703 00E 141 451 401 361 321 281 25 2 552 464 00E 141 091 071 041 029 96E 009 74 1 841 795 00E 148 798 628 468 308 158 01 1 421 386 00E 147 367 247 127 016 916 80 1 141 127 00E 146 336 246 168 086 005 92 9 489 328 00E 145 565 505 435 375 305 24 8 077 959 00E 144 964 914 864 814 764 71 3 513 271 00E 154 484 093 763 483 243 03 2 031 952 00E 152 312 202 112 021 941 87 1 421 383 00E 151 571 531 481 441 401 36 1 091 064 00E 151 201 181 151 121 101 08 8 808 645 00E 159 789 619 449 279 128 96 7 397 276 00E 158 288 168 047 927 817 70 6 366 277 00E 157 207 117 026 936 856 76 5 585 518 00E 156 386 316 246 176 116 04 4 974 929 00E 155 745 695 635 585 525 47 2 612 471 00E 165 234 814 454 153 893 67 1 651 592 00E 162 872 762 652 562 472 39 1 201 173 00E 162 062 001 951 901 861 82 Nb cm 3 PHOS 9 439 244 00E 161 641 611 581 551 521 49 7 777 635 00E 161 381 361 341 321 301 28 6 606 506 00E 161 201 191 171 161 151 13 5 735 667 00E 161 081 061 051 041 031 02 5 075 018 00E 169 789 699 619 539 459 37 4 544 499 00E 169 018 948 878 818 748 68 2 442 311 00E 178 387 867 437 056 726 44 1 561 502 00E 175 415 255 114 984 874 75 1 141 113 00E 174 304 224 154 084 023 96 9 008 814 00E 173 693 653 603 563 523 48 7 437 305 00E 173 303 273 233 203 173 15 6 326 236 00E 173 012 992 972 942 922 90 5 505 437 00E 172 802 782 762 742 722 71 4 874 818 00E 172 622 612 592 582 562 55 4 364 329 00E 172 482 472 452 442 432 41 2 362 231 00E 182 362 252 162 072 001 93 1 501 502 00E 181 661 621 581 541 511 47 1 101 103 00E 181 321 301 271 251 231 21 8 708 54 00E 181 111 091 081 061 041 03 7 207 15 00E 189 609 479 349 229 118 99 6 16 006 00E 188 468 368 278 178 087 99 5 35 37 00E 187 577 507 427 347 277 20 4 74 78 00E 186 866 796 736 676 616 55 4 24 29 00E 186 276 226 166 116 066 01 2 302 201 00E 195 785 354 994 684 404 15 1 501 402 00E 193 253 112 992 872 772 67 1 101 003 00E 192 272 202 142 082 031 98 8 508 304 00E 191 751 711 681 641 611 58 7 006 905 00E 191 431 411 381 361 341 31 6 005 906 00E 191 211 201 181 161 151 13 5 205 107 00E 191 061 041 031 021 019 94E 04 4 604 608 00E 199 389 289 189 088 988 89 4 104 109 00E 198 458 378 298 218 138 06 2 202 101 00E 207 707 086 576 135 765 43 1 401 402 00E 204 294 123 973 843 713 60 1 101 003 00E 203 103 103 002 902 902 80 8 308 104 00E 202 602 502 502 402 402 40 6 906 705 00E 202 202 202 202 102 102 10 5 805 806 00E 202 002 002 001 901 901 90 5 105 007 00E 201 801 801 801 801 801 80 4 504 508 00E 201 701 701 701 701 701 70 4 004 009 00E 201 701 701 601 601 601 60 nNa cm 3 BORON 0 600 700 800 90 cm 0 000 100 20 2 702 502 402 201 0e 041 20E 211 101 00 1 601 601 501 502 0e 046 005 805 50 1 201 101 101 103 0e 044 013 883 76 9 209 008 908 704 0e 043 002 932 85 7 607 507 307 205 0e 042 392 342 30 6 406 306 306 206 0e 041 991 951 92 5 605 505 405 407 0e 041 701 671 65 4 904 904 804 808 0e 041 481 461 44 4 404 404 304 309 0e 041 311 291 28 2 702 502 402 201 00E 031 171 069 70e19 1 601 601 501 502 00E 035 655 365 09 1 181 151 121 093 00E 033 623 493 37 9 279 088 898 714 00E 032 612 542 47 7 627 497 367 245 00E 032 011 971 92 6 486 386 296 206 00E 031 621 591 56 5 635 565 495 427 00E 031 341 321 29 4 984 924 874 818 00E 031 131 111 10 4 464 424 374 339 00E 039 749 609 47 2 692 542 402 271 00E 028 497 486 65 1 671 611 551 502 00E 023 243 022 82 1 211 181 151 123 00E 021 771 681 60 9 539 339 148 964 00E 021 141 091 05 7 877 737 607 485 00E 028 037 797 55 6 706 616 516 426 00E 026 055 895 75 5 585 775 705 637 00E 024 764 664 56 5 195 135 075 028 00E 023 883 813 74 4 664 624 574 539 00E 023 243 193 14 2 852 692 552 421 00E 012 772 402 11 1 801 741 681 622 00E 011 029 59E 169 01 1 331 291 261 233 00E 016 005 765 53 1 061 041 029 97E 014 00E 014 194 073 95 8 828 688 548 415 00E 013 213 133 06 7 597 497 397 296 00E 012 592 542 49 6 686 606 536 457 00E 012 172 142 10 5 985 925 865 808 00E 011 871 841 82 5 425 375 325 289 00E 011 641 621 60 3 473 303 143 001 00E 001 461 311 20 2 312 242 172 112 00E 006 956 606 29 1 781 741 701 673 00E 004 564 414 27 1 471 441 421 404 00E 003 393 313 23 1 271 251 231 225 00E 002 702 652 60 1 121 111 101 096 00E 002 252 212 17 1 011 009 95E 029 877 00E 001 921 891 87 9 309 229 159 088 00E 001 681 661 64 8 628 568 508 449 00E 001 491 471 46 6 195 965 765 571 00E 011 341 221 11 4 654 554 464 382 00E 016 676 356 06 3 903 843 793 743 00E 014 444 304 16 3 443 403 373 304 00E 013 333 253 17 3 123 093 073 045 00E 012 662 612 56 2 882 862 842 826 00E 012 222 182 15 2 692 672 662 647 00E 011 901 871 85 2 532 525 512 498 00E 011 661 641 62 2 402 392 382 379 00E 011 481 461 45 1 871 811 761 711 00E 021 331 211 11 1 441 411 381 352 00E 026 606 306 00 1 191 171 151 133 00E 024 404 304 20 1 011 009 86E 039 734 00E 023 303 203 20 8 888 778 668 565 00E 022 702 602 60 7 907 827 747 656 00E 022 202 202 10 7 137 066 996 927 00E 021 901 901 80 6 496 446 386 328 00E 021 701 601 60 5 965 915 875 829 00E 021 501 501 40 3 933 733 563 391 00E 031 301 201 10 2 582 492 412 342 00E 036 606 306 00 1 931 881 841 793 00E 034 404 304 20 1 541 511 491 464 00E 033 303 203 20 1 291 271 251 235 00E 032 702 602 60 1 111 101 091 076 00E 032 202 202 10 9 829 719 609 497 00E 031 901 901 80 8 808 718 628 538 00E 031 701 601 60 7 987 917 847 779 00E 031 501 501 40 5 154 894 674 471 00E 041 301 201 10 3 493 393 303 212 00E 046 606 306 00 2 802 702 702 603 00E 044 404 304 20 2 302 302 302 204 00E 043 303 203 20 2 102 102 002 005 00E 042 702 602 60 1 901 901 901 906 00E 042 202 202 10 1 801 801 801 707 00E 041 901 901 80 1 701 701 701 708 00E 041 701 601 60 1 601 601 601 609 00E 041 501 501 40 掺掺硼硼硅硅的的掺掺杂杂浓浓度度与与电电阻阻率率换换算算表表 Nb PHOS 0 300 400 500 600 700 800 90 cm 3 0 00 9 30E 208 608 107 607 106 706 401 00E 12 1 30E 04 5 205 004 804 604 504 304 202 00E 126 50 3 643 543 433 343 253 163 083 00E 124 30 2 792 722 662 602 552 492 444 00E 123 30 2 252 212 172 132 092 062 025 00E 122 60 1 891 861 831 801 771 751 726 00E 122 20 1 621 601 581 561 541 521 507 00E 121 90 1 421 411 391 371 361 341 328 00E 121 60 1 271 251 241 221 211 201 199 00E 121 50 8 928 257 677 176 726 325 971 00E 131 30 4 854 634 434 244 073 913 762 00E 136 50 3 253 153 042 952 862 772 693 00E 134 35 2 402 342 282 222 172 112 064 00E 133 27 1 881 841 801 761 721 691 655 00E 132 61 1 531 501 471 441 411 391 366 00E 132 18 1 271 251 231 211 191 171 157 00E 131 87 1 081 061 051 031 021 009 88E 188 00E 131 64 9 339 209 088 958 838 728 609 00E 131 45 5 975 394 894 474 103 783 491 00E 141 31 2 642 482 332 202 071 961 862 00E 146 56 1 531 461 401 341 281 231 183 00E 144 38 1 029 80E 179 469 148 848 568 294 00E 143 29 7 337 126 926 736 556 376 215 00E 142 64 5 615 475 345 225 104 984 876 00E 142 20 4 474 374 294 204 124 033 967 00E 141 89 3 673 603 543 483 423 363 308 00E 141 66 3 093 042 992 942 902 852 819 00E 141 48 1 881 691 531 401 281 181 101 00E 151 33 8 498 027 607 226 886 566 272 00E 156 74 5 325 134 944 774 614 464 323 00E 154 54 3 843 733 633 543 453 363 284 00E 153 44 2 992 932 872 812 752 692 645 00E 152 78 2 452 402 362 322 282 242 216 00E 152 33 2 072 042 011 981 951 921 897 00E 152 02 1 791 771 751 721 701 681 668 00E 151 78 1 581 561 541 531 511 491 479 00E 151 59 1 101 019 41E 158 748 247 767 331 00E 161 44 6 015 755 515 245 044 904 722 00E 167 67 4 134 013 893 783 683 583 483 00E 165 37 Na cm 3 BORON 3 153 083 012 942 882 822 764 00E 164 20 2 552 502 452 412 372 322 285 00E 163 49 2 142 102 072 042 011 981 956 00E 163 01 1 841 821 791 771 741 721 707 00E 162 66 1 621 601 541 561 541 521 518 00E 162 40 1 441 431 411 401 381 371 359 00E 162 19 1 039 55E 148 918 357 857 427 021 00E 172 02 5 805 565 335 134 944 784 602 00E 171 22 4 043 923 813 703 603 503 413 00E 179 32 3 103 032 962 892 832 772 724 00E 177 73 2 512 462 422 382 342 292 265 00E 176 71 2 112 082 052 021 991 961 936 00E 175 98 1 821 801 771 751 731 711 687 00E 175 43 1 601 581 571 551 531 511 498 00E 175 00 1 431 421 401 391 371 361 349 00E 174 65 1 029 50E 138 878 317 827 397 001 00E 184 35 5 805 505 305 104 904 704 602 00E 182 81 4 003 903 803 703 603 503 403 00E 182 14 3 103 003 002 902 802 802 704 00E 181 76 2 502 502 402 402 302 302 305 00E 181 50 2 102 102 002 002 002 001 906 00E 181 31 1 801 801 801 701 701 701 707 00E 181 17 1 601 601 601 501 501 501 508 00E 181 06 1 401 401 401 401 401 401 309 00E 189 63 1 009 50E 128 908 307 807 407 001 00E 198 87 5 805 505 305 104 904 704 602 00E 195 01 4 003 903 803 703 603 503 403 00E 193 53 3 103 003 002 902 802 802 704 00E 192 73 2 502 502 402 402 302 302 305 00E 192 23 2 102 102 002 002 002 001 906 00E 191 88 1 801 801 801 701 701 701 707 00E 191 63 1 601 601 601 501 501 501 508 00E 191 44 1 401 401 401 401 401 401 309 00E 191 29 1 009 50E 118 908 307 807 407 001 00E 201 17 5 805 505 305 104 904 704 602 00E 206 02 4 003 903 803 703 603 503 403 00E 204 10 3 103 003 002 902 802 802 704 00E 203 10 2 502 502 402 402 302 302 305 00E 202 50 2 102 102 002 002 002 001 906 00E 202 10 1 801 801 801 701 701 701 707 00E 201 80 1 601 601 601 501 501 501 508 00E 201 60 1 401 401 401 401 401 401 309 00E 201 40 掺掺硼硼硅硅的的电电阻阻率率与与掺掺杂杂浓浓度度换换算算表表 n cm 0 100 200 300 400 500 600 700 800 90 1 201 101 009 30E 038 708 207 707 206 90 6 205 905 705 405 205 004 804 704 50 4 204 104 003 803 703 603 503 403 30 3 203 103 003 002 902 802 802 702 70 2 602 502 502 402 402 302 302 302 20 2 102 102 102 002 002 001 901 901 90 1 801 801 801 801 701 701 701 701 70 1 601 601 601 601 501 501 501 501 50 1 401 401 401 401 401 401 301 301 30 1 201 101 009 30E 028 708 207 707 306 90 6 205 905 705 405 205 004 804 704 50 4 214 083 963 843 733 633 533 443 35 3 193 113 042 972 902 842 782 722 67 2 562 512 472 422 382 342 292 252 22 2 142 112 082 042 011 981 951 921 90 1 841 821 791 771 741 721 701 681 66 1 621 601 581 561 541 521 501 491 47 1 441 421 411 391 381 361 351 341 32 1 191 091 019 36E 018 748 197 717 296 91 6 255 975 715 475 265 054 874 694 53 4 244 113 993 873 763 663 563 473 38 3 213 143 073 002 932 872 812 752 69 2 592 542 492 452 402 362 322 282 24 2 172 132 102 072 042 011 981 951 92 1 871 841 811 791 771 741 721 701 68 1 641 621 601 581 561 541 531 511 49 1 461 441 431 411 401 381 371 361 34 1 211 111 039 55E 008 938 387 907 477 08 6 426 145 885 645 425 225 034 854 69 4 404 264 144 023 913 813 713 613 52 3 363 283 213 143 073 012 952 892 83 2 722 672 632 582 532 492 452 412 37 2 302 262 232 192 162 132 102 072 04 1 991 961 941 911 891 871 841 821 80 1 761 741 721 701 681 661 641 631 61 1 581 561 541 531 511 501 481 471 46 1 321 221 131 069 93E 019 378 878 428 03 7 347 046 776 526 296 085 885 705 53 5 225 084 954 824 704 594 494 394 29 4 124 033 953 883 813 743 673 613 55 3 433 383 333 283 233 183 143 093 05 2 972 932 892 862 822 792 762 722 69 2 632 602 582 552 522 502 472 442 42 2 372 352 332 312 292 272 252 232 21 2 172 152 132 122 102 082 072 052 04 1 881 761 661 581 501 431 371 321 27 1 181 151 111 081 051 029 99E 029 759 53 9 128 938 768 598 438 278 137 997 86 7 617 497 387 277 177 076 986 886 79 6 636 546 476 396 326 256 186 116 05 5 925 865 805 755 695 645 585 535 48 5 395 345 295 255 215 165 125 085 04 4 964 924 894 854 824 784 754 714 68 4 624 584 554 524 494 474 444 414 38 4 103 883 693 533 383 243 123 002 90 2 722 642 562 492 422 362 302 252 19 2 102 052 011 971 931 891 861 821 79 1 731 701 671 641 621 591 571 541 52 1 481 461 441 421 401 381 361 351 33 1 301 281 271 251 241 221 211 191 18 1 161 141 131 121 111 101 091 081 07 1 051 041 031 021 019 98E 039 899 809 72 9 559 479 399 319 239 169 089 018 94 8 227 677 186 766 396 055 755 485 24 4 814 624 454 294 144 003 873 753 63 3 433 333 243 163 083 002 932 862 79 2 672 612 562 502 452 402 362 312 27 2 192 152 112 082 042 011 981 941 91 1 861 831 801 771 751 721 701 681 66 1 611 591 571 551 531 511 491 481 46 1 431 411 391 381 361 351 331 321 30 1 281 261 251 241 231 211 201 191 18 1 079 83E 049 118 497 947 477 046 676 33 5 755 495 265 054 854 674 504 354 20 3 903 803 703 603 503 403 303 203 10 3 002 902 902 802 702 702 602 602 50 2 402 402 302 302 202 202 202 102 10 2 002 002 001 901 901 901 801 801 80 1 701 701 701 701 701 601 601 601 60 1 501 501 501 501 501 401 401 401 40 1 401 401 301 301 301 301 301 301 30 掺掺磷磷硅硅的的电电阻阻率率 p p 掺掺硼硼硅硅的的电电阻阻率率 b b 与与掺掺杂杂浓浓度度 cm cm 3 3 换 换算算表表 磷或硼掺磷硅的电阻率 p 掺硼硅的电阻率 b cm 掺杂浓度 p b p b p b p b cm 3 0 000 100 200 30 1 E 124 30E 031 30E 043 90E 031 20E 043 60E 031 10E 043 30E 031 00E 04 2 E 122 10E 036 50E 032 00E 036 20E 031 90E 035 90E 031 90E 035 70E 03 3 E 121 40E 034 30E 031 40E 034 20E 031 30E 034 10E 031 30E 034 00E 03 4 E 121 10E 033 30E 031 00E 033 20E 031 00E 033 10E 039 90E 023 00E 03 5 E 128 50E 022 60E 038 30E 022 60E 038 20E 022 50E 038 00E 022 50E 03 6 E 127 10E 022 20E 037 00E 022 10E 036 90E 022 10E 036 70E 022 10E 03 7 E 126 10E 021 90E 036 00E 021 80E 035 90E 021 80E 035 80E 021 80E 03 8 E 125 30E 021 60E 035 20E 021 60E 035 20E 021 60E 035 10E 021 60E 03 9 E 124 70E 021 50E 034 70E 021 40E 034 60E 021 40E 034 60E 021 40E 03 1 E 134 30E 021 30E 033 90E 021 20E 033 50E 021 10E 033 30E 021 00E 03 2 E 132 10E 026 50E 022 00E 026 20E 021 90E 025 90E 021 80E 025 70E 02 3 E 131 42E 024 35E 021 37E 024 21E 021 33E 024 08E 021 29E 023 96E 02 4 E 131 07E 023 27E 021 04E 023 19E 021 02E 023 11E 029 92E 013 04E 02 5 E 138 53E 012 61E 028 37E 012 56E 028 21E 012 51E 028 05E 012 47E 02 6 E 137 12E 012 18E 027 00E 012 14E 026 89E 012 11E 026 78E 012 08E 02 7 E 136 11E 011 87E 026 02E 011 84E 025 94E 011 82E 025 86E 011 79E 02 8 E 135 35E 011 64E 025 28E 011 62E 025 22E 011 60E 025 16E 011 58E 02 9 E 134 76E 011 45E 024 71E 011 44E 024 66E 011 42E 024 61E 011 41E 02 1 E 144 29E 011 31E 023 90E 011 19E 023 58E 011 0