设备部周报.ppt

EE Weekly Report-W1724 (06/1106/17),Prepared by EE,Jun. 16th .2017,W1724 Fab8 EE Weekly Report,Highlight / lowlight NA Weekly Department KPI summary and review Y1-EIS 98.68%（Target 99.1%），DIFF漏晶点位异常导致漏晶，DIFF当站Impact 0.05%，ISO影响0.09%，CVD影响0.05%，PRT影响0.02%，DIFF 漏晶Total Impact 约 0.21% 本周重工较多，wafer厚度为160-170（正常200），各站点均影响，Hold Wafer重工Impact 约0.16% Project status update 60%设备拆装机进度ISO03&DIFF11 PE验机进行中 60%设备验收状况：Total 24 item,完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项 ISO03验机状况：端午节后复机，目前待换酸后 PE对其测试 CVD设备附属设备清洗机&烤箱装机进度：5/25吊装定位完成，厂务预计6/18送电 设备异常处理SOP,新人训练资料,编排整理及列表，持续进行，网印所属设备完成55%，蚀刻完成100%，沉积完成100% 教育训练实施状况针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门内倡导，并让同仁签名确认并放在现场供同仁随时参考学习。另外收集2/3厂历年工安事故，各组平行展开预防对策。 MFG Cost analysis 修缮维护费本周总费用37,306RMB（领用石墨舟1套，18,991RMB，厂务空调箱改造13,000RMB ），0.31C/W，On Target 人力状况 目前EE总人力20人（本周離職1位资深工程師） Plan to do EE AR处理进度,Back up Material,FAC2鍾鎔華,W1724 Y1 状况,EIS 98.68%，较上周98.47%0.23%，6/16已经改善至98.96% DIFF 0.181%， DIFF 03/08 上下料点位优化，截至6/15，当站BK改善明显（当站漏晶Impact 约0.05%） ISO 0.277%，DIFF来料漏晶改善，整体BK改善，较上周Improve 0.129%（前站点漏晶Impact 约0.09%） 受重工Wafer影响（厚度160-170，正常200），Impact 约0.16%（DIFF-0.04%，ISO -0.04%，CVD-0.04%，PRT-0.04%）,DIFF 11 & ISO03 PE验机进行中,60%-EE裝機&PE驗機計畫全時表,Fab8 Litchi P2验收進度,FAB8 Litchi P2 验收进度 Total 24 item, 完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项： 捷得宝*2ISO03&DIFF11 PE验机进行中 宇锋*1AOC设备验收事宜目前和厂商协调中（设备需要厂商再维修，和厂商协调中） 捷佳伟创*1，羅伯特科*1SC-CVD 设备Open Issue待厂商处理，厂商预计6/23 入厂确认,Fab8 Litchi P2待验收项目进度,如上绿色Remark为验收进行中，共计4项 ISO03&DIFF11 PE验机进行中 AOC设备验收事宜目前和厂商协调中（设备需要厂商再维修，和厂商协调中） SC-CVD 设备Open Issue待厂商处理，厂商预计6/23 入厂确认,8 NSP Property,ISO03 1-5道EL驗證报告 5/25,Description： 5/25 转速1.8 Experiment： Action： 進一步投料觀察，持續解決滾輪刮傷問題,持續解決滾輪刮傷問題,Description: 清洗机和烤箱装机 Time: 6/2 Action:. 机台拆箱吊装完成 5/25 机台定位完成 Next Action: 预计6/18送电,EE:沉积组,清洗机和烤箱装机报告,清洗机烤箱吊装,清洗机烤箱定位完成,清洗机和烤箱装机Schedule,异常处理SOP清单及进度,网印所属设备共计31项，目前完成17项，完成度55%,蚀刻所属设备共计9项，目前完成9项，完成度100%,沉积所属设备共计22项，完成100%,异常处理SOP,EE部门教育训练记录,针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门能宣导，并让同仁签名确认并放在现场供同仁随时参考学习,EE部门安全问题宣导签到表,針對FAB2/3 設備發生的安全問題，在部門早會宣導，並進行平行展開， 使同仁得到警示，並按照相關的SOP進行安全防護。,Description: 捷佳伟创设备装机 Date: W1718 Action: 4-25组织员工参加SCCVD 和罗伯特科插片机操作 4-28组织员工参加SCCVD 和罗伯特科插片机操作 培训文件插片机机器人操作规程 石墨舟上下料常见故障、保养及操作注意事项 4-25做9舟片子测试，机台无异常 4-26做3舟片子测试，机台无异常,沉积组,SC-CVD 教育训练状况,EE RM cost 趨勢圖,修繕維護費本周總費用37,306RMB，0.31C/W，On target。 設備修繕維護費目標2017/7 (四條線14MW)降至 0.40 Cent/W， 預計Cost-down 貢獻 0.08Cent/W 降本原則以維修優先(價格為新品50%)，不能修轉以非原廠供應料 (cost-down 30%)，持續進行。,4/16 停復機產出低,4月產能4.33mw 停復機產出低， 維修水泵&電頻器,5/295/31 停復機產出低,EE RM cost list,1,本周总费用37,306RMB，其中出库金额为22,307RMB，PO费用为1,999RMB，廠務部花費13,000RMB 1.一條线使用8SET*4條线=32SET，再加上2SET輪換，現總共32SET，可以使用的石墨舟28SET（其中1SET為廠商給我們使用），待修4SET，缺3SET，現領1SET，花費18,991RMB 2.空调箱风量较大，使用纸框滤网容易变形吸扁，需在空调箱初效段增加铁丝网加强，空调箱改造費用 13,000RMB,2,2017 EE cost down list,2017設備修繕維護費執行至現在費用由原本627,713.69RMB 降至326,546.95RMB，節省301,546.95RMB，Cost-down 48.04%，約貢獻 0.14Cent/W，持續進行。(2017/15 每月兩條線 7MW),EE自行開立PR進度及驗收狀態,設備部人力狀況趨勢圖,本周离职1位资深工程师,製程暨設備部（八廠）組織圖 EE 2017/05/31,三組各設有組長1人 每組設備工程師6人作六休一排班，每組每天日班最多人力5人，倒班日4人。(1組長+34日班+1夜班+12倒班輪休) 夜間排值班1人，每次6天，第七天倒回日班休息，另一人到夜班接上6天，其他人須做六休一白天才會有至少4人。,八廠-設備部 (20/26) 洪政忠 經理,設備一課 (13/15) 张伟 副理,備品管理師 鄧芮,設備二課 (5/9) (洪政忠 經理 代),工程師朱捷,工程師李水平,工程師梁海龍,蝕刻組 (6/7) 溫祥凱,網印組 (7/7) 毛彪鋒,工程師熊畑未,沉積組 (4/9) 曾小紅 代,助工 瀏海龍,助工 楊惠源,助工 趙剛,工程師(待召),助工 劉順,工程师 梅松,工程师 鄧馨會,14MW (四條線產能),工程師 沈林玲,助工 汪益,工程师 雷新超,工程师 符操,5/18 報到,5/5 報到,工程師(待召),6/5 報到,6/5 報到,6/1 報到,工程師(待召),工程師(待召),工程師(待召),工程師(待召),Plan To Do-AR01,Plan To Do-AR02,Plan To Do-AR03,Plan To Do-AR04,Thank You,Neo Solar Power Corp.,DIFF03 Wafer 重复扩散异常报告,Description 404晶舟出现重复扩散 Analysis 406晶舟上下料时机台异常，对机台进行复归，后设清料状态下料 30min后发现406晶舟Job还有状态，然后此时3-2炉门打开，桨上有舟（实际舟号404），误以为是406，手动拉出来。 手动将舟拉出后发现是404晶舟，查看工艺时间为01：01：00，将工艺运行时间看错成00：01：01，手动重新开始工艺，导致重复扩散。 Cause 人为疏失导致 Temporary countermeasures 复位JR上下料机，手动将舟拉到CT端Store后，修改舟状态，EE人员在现场确认舟被自动执行下一个状态OK后才能离开 手动拉动炉管内的舟时，要把舟拉至Store，确认阻值，通过阻值来确认Wafer的状态,0610 DIFF03 异常停机Issue,Description 机台报警，上料撞片 ,碎片160PCS A Full boat which according to database Status is empty Time 12:3016：13 Analysis 晶舟状态和实际状态不符合(401晶舟上料时有过复位动作导致) Possible Root cause 401晶舟下料时，扫描结果和机台记录的结果不 符合有人按了继续，导致相撞（人员疏失） Action 收掉碎片，用气枪吹干净有碎片的地方 done 机台复归 done Manual 模式中Macro 上料100PCS到B区 done Temporary countermeasures 复位JR上下料机，手动将舟拉到CT端Store后， 修改舟状态，EE人员在现场确认舟被自动执行下一个状态OK后才能离开,晶舟状态和实际状态不符合(B,C,D区域),晶舟發生相撞區域,机台报警，不知道处理，所以复位,Answer was continue,DIFF08异常停机报告,Issue description 异常时间：11：1013：30; 报警信息：无报警机台不下料 Abnormal Situation&Maintenance schedule: Root Cause 台达和CT两边的通信，由于时间长未下料而中断，预防措施由于对机台不熟悉，还没有找到。,11:1011:20,异常时间,处理过程,现象： 无报警机台不下料 处理： 1.手动抓取要下料的BOAT到Shuttle ,自动开始，出现报警time out :WSL-S-REQ are set, Time out waiting for EWH-Busy=TRUE,1.复位报警，不动作，还重复报警. 2.手动抓BOAT到Store ，重新设置好状态，重启CT端的CMI 电脑和软件，以及台达端的电脑和软件，复位台达端，自动运行，还是不下料,13：30,11:2011:50,11：5013：20,1.详细比对各状态，发现异常点，按照方法处理,EE：曾小红,1.交给制造部生产。,DIFF08异常停机报告,EE：曾小红,无报警，有冷却好的满舟在Store ,自动运行不下舟，显示信息： Shuttle :NO Shuttle Shuttle:Free Shuttle to handle WSL R-REQ:0 WSL Ready TO Receive A job :1 EWH R-REQ:1 EWH Ready TO Receive A job :1 舟不到Shuttle上 1.按自动开始键，Shuttle前进一小段距离以后，出现报警time out :WSL-S-REQ are set, Time out waiting for EWH-Busy=TRUE 2.手动推动Shuttle到达台达端底部，两边机台都按自动运行键， Shuttle To handle改变为No Shuttle 3.手动推动Shuttle 到CT端Lift 位置附近，点击to lift ,（如果to lift 是灰色，则点击handshake Reset）然后显示 Shuttle :NO Shuttle Shuttle:Free NO Shuttle WSL R-REQ:0 WSL Ready TO Receive A job :0 EWH R-REQ:1 EWH Ready TO Receive A job :1 4.自动运行正常,0612 DIFF03 Vacuum Pump Trip Issue,Description 0612 DIFF03 occurred vacuum pump trip issue. Time 6/12 13:16 15:17 Analysis Vacuum pump 因內部磨損導致 breaker tipr Root cause Vacuum damage Action 更換 vacuum pump. Test normal. Release to MFG.,Alarm code,Vacuum pump damage,0612 DIFF08 Boat Collision Issue,Description 0612 DIFF08 occurred boat collision issue. Time 6/12 04:42 12:10 Analysis 緩衝彈簧衰退導致 arm 歪斜觸發 sensor Root cause Spring damage Action 更換 arm 底座 Test normal. Release to MFG.,arm 歪斜觸發 sensor,DIFF08 漏晶异常Issue,Description 0609 白班DIFF 08出料发现有间断性漏晶 Time 6/09 06/14 Analysis 硅片在搬运过程有摩擦，导致漏晶 Root cause 调整Lot4 和Lot5 插片和收片的点位 石英晶舟的精度不佳，造成硅片插入时摩擦到晶舟下横梁 Action 观察每个Boat 出料后的硅片情况，有固定出现漏晶的Boat，下线更换 测试插片和吸片的点位，以及轻微调整 OK 一边生产一边跟踪和调试. 后续观察跟踪（6月14完成）,出料到Carrier发现漏晶,0612 DIFF08-1 阻值异常Issue,Description 0612 夜班EE巡线发现DIFF08-1 炉门打开，桨不动 Time 6/12 16:14 21:56 Analysis 机台卡桨，没有蜂鸣报警声音 报警声音的PLC控制线松动，接触不良 Root cause 桨上升到高位以后，晶舟在桨上的位置 有偏差，出舟检测到位置偏差，造成卡桨 Action 手动拉出Paddle ,接回报警蜂鸣线。 Test 蜂鸣和桨 OK Release to MFG. 其他炉管和机台测试蜂鸣（6月13完成） Cost Hold 500PCS,Alarm code,蜂鸣器PLC控制线,0615 CVD09 刮伤 Issue,Description 0615 CVD09 059舟出料发现刮伤 Time 6/15 10：30 Analysis 1.检查发现石墨舟上料时未到位，因偏移2 mm，未超出机台侦测范围，所以机台未发出警报 2.手动测试石墨舟定位气缸，发现伸缩不到位，导致石墨舟位置错误，上料掉片。 Root Cause 石墨舟定位气缸衰退 Temporary countermeasures 更换气缸 纳入月保养项目 6/23曾小红 Cost 此异常造成刮伤hold153pcs,气弹簧衰退,ITX02 傳輸速度慢說明报告,Issue： 傳輸速度慢 Analyze ： carrier傳輸在OF-03時，HF/HNO3-1正常時不進料，其狀態處於ready狀態 檢查機台工藝recipe與ITX01作對比，無異常 檢查OF-3前機台設定時間，以及運行速度，無異常 檢查OF-03后手臂運行速度，時間設定與ITX01作對比，無異常 疑是傳輸時間異常 injection（set) interval time 與ITX01作對比相差較大 Action： 將機台間隔時間設定由300S100S Current status: 運行狀況已經達到之前正常run（ 9 run） Result： 機台進料時間間隔設定過大導致進料速度慢，目前機台已經正常運行 Next action: 1.對數據進行保存記錄（權限無法限制設定） 2.宣導PE/MFG/EE所有人員禁止變動，如有變動請EE人員確認,36 NSP Property,ITX01 NH4OH chuck sensor異常報告,Issue： 6/15 06：42 Robot02 chuck sensor error Analysis： 手臂經常與NH4OH接觸，表面容易形成結晶 手臂上位時，第二個Sensor 處於上位後不下降 sensor表面有結晶造成此異常 Root cause： Sensor表面有結晶物 Action： 清潔sensor表面結晶，確認OK後交於製造生產 ITX01&ITX02對應位置sensor水平展開清潔完畢- 6/15 Preventive measures: 與製造協商，每週停機半小時對機台sensor進行清潔動作 Impact： hold 200pcs待重工,ISO1 编码器异常报告,Issue description: 異常時間：6/11 15:47-18:20 異常現象：M01槽不铺水 Abnormal Situation&Maintenance schedule: Possible cause: 1. M01槽编码器损坏（129pcs） Temporary countermeasures: 1. 暂从ISO3 M01槽拆过来 2. 已建库存，仓库还未到货-6/19 3. 需夜班持续观察,15：47-16：36,處理過程,在上料看到M01槽不铺水 2. 立即暂停上料机， 3. 手动遮挡sensor，也不出水，过一会又有水，判断为M01槽编码器损坏 3. 到仓库领用备品更换，仓库备品还未到货,16：36-18：20,从ISO03M01槽拆个编码器， 装到ISO01 M01槽,18：20-,机台运行两小时未发现铺水膜异常现象,ISO1 M03槽第6，7道叠片异常报告,Description M03槽喷淋处track6& track7道卡片叠片 Time 6/13 14:58 15:26 Analyze ： Wafer于M02槽旋转后内裂，碎片卡在M03槽喷淋处下滚轮之间 卡片叠片发生位置没有到检知sensor处 ，无报警提示 Action 关闭M03槽喷淋，打开喷淋护罩。 取出滚轮，并处理卡片叠片。 Improvement m