• 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-09-17 颁布
  • 2019-01-01 实施
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ICS31030L90 .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T366552018电子封装用球形二氧化硅微粉中 态晶体 二氧化硅含量的测试方法 XRD 法 Testmethodforalphacrystallinesilicondioxidecontentofsphericalsilica powderforelectronicpackagingXRD method2018-09-17发布 2019-01-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 GB/T366552018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 提出并归口 (SAC/TC203) 。 本标准起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 江苏联瑞新材料股份有限公司 汉高 : 、 、华威电子有限公司 。 本标准主要起草人 封丽娟 李冰 陈进 夏永生 曹家凯 吕福发 阮建军 王松宪 : 、 、 、 、 、 、 、 。 GB/T366552018 电子封装用球形二氧化硅微粉中 态晶体 二氧化硅含量的测试方法 XRD 法 1 范围 本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中 态晶体二氧化硅含量的 测试方法 XRD 。 本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测 态晶体二氧化硅含量 其他无定形二氧化硅 , 含量的检测也可参照本标准执行 态晶体二氧化硅含量测试范围 以下半定量分析 。 0.5% ,0.5%5% 定量分析 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 转靶多晶体 射线衍射方法通则 JY/T009 X3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 。31 . 电子封装用球形二氧化硅微粉 sphericalsilicapowderforelectronicpackaging 采用火焰成球法 高温熔融喷射法或等离子体法制备 应用于电子封装领域的球形二氧化硅微粉 、 , 。4 方法原理 晶体二氧化硅和无定形二氧化硅在特征 射线照射下各自具有特有的 射线散射花样 晶体二氧 X X , 化硅的散射强度与其含量成比例 。5 仪器设备和管理样品 51 仪器设备 . 511 多晶 X 射线衍射仪 . 带微机 铜靶 狭缝 滤波片并有阶梯扫描方式功能 、 、 、 。512 分析天平 . 感量为 0.1mg。
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