- 现行
- 正在执行有效
- 2013-10-17 颁布
- 2014-03-01 实施
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文档简介
ICS7712099
H63..
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T898—2013
高纯钽化学分析方法
痕量杂质元素的测定
电感耦合等离子体质谱法
Methodsforchemicalanalysisofthehighpuritytantalum—
Determinationoftraceimpurityelementcontent—
Inductivelycoupledplasmamassspectrometry
2013-10-17发布2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T898—2013
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口
(SAC/TC243)。
本标准起草单位北京有色金属研究总院金川新材料科技股份有限公司东方电气集团峨嵋半导
:、、
体材料有限公司
。
本标准主要起草人李艳芬张殿凯刘英孙泽明童坚臧慕文张江峰邱平文英
:、、、、、、、、。
Ⅰ
YS/T898—2013
高纯钽化学分析方法
痕量杂质元素的测定
电感耦合等离子体质谱法
1范围
本标准规定了高纯钽中锂铍硼镁钛钒锰铁钴镍铜锌镓砷锶锆铌钼镉锡锑
、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、
铪钨铅和铋量的测定方法
、、。
本标准适用于高纯钽中痕量杂质的测定测定范围
,:0.0001%~0.010%。
2方法提要
试料用硝酸和氢氟酸溶解以铯内标进行校正用电感耦合等离子体质谱仪直接测定按工作曲线
,,,
法计算各元素的质量浓度以质量分数表示测定结果
,。
3试剂
除非另有说明分析中所用的试剂均为优级纯所用水为一级水
,;。
31氢氟酸ρ
.(=1.16g/mL)
32硝酸ρ
.(=1.42g/mL)
33硝酸
.(1+1)。
34锂铍硼镁钛钒锰铁钴镍铜锌镓砷锶锆铌钼镉锡锑铪钨铅铋和铯单元
.、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、
素标准贮存溶液国家标准样品国家标准物质质量浓度为
(/),1000μg/mL。
35混合标准溶液分别移取各元素标准贮存溶液铯元素除外于塑料
.A:10.00mL()(3.4)1000mL
容量瓶中补加氢氟酸硝酸用水稀释至刻度混匀此溶液含锂铍
,2mL(3.1),20mL(3.3),,。1mL、、
硼镁钛钒锰铁钴镍铜锌镓砷锶锆铌钼镉锡锑铪钨铅和铋各
、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、10μg。
36混合标准溶液移取混合标准溶液于塑料容量瓶中补加硝酸
.B:10.00mLA(3.5)100mL,2mL
用水稀释至刻度混匀此溶液含锂铍硼镁钛钒锰铁钴镍铜锌镓砷锶
(3.3),,。1mL、、、、、、、、、、、、、、、
锆铌钼镉锡锑铪钨铅和铋各用时现配
、、、、、、、、1μg,。
37铯内标溶液移取铯元素标准贮存溶液于塑料容量瓶中用水稀释至刻
.:1.00mL(3.4)1000mL,
度混匀此溶液含铯
,。1mL1μg。
4仪器
41电感耦合等离子体质谱仪质量分辨率优于在峰高处配备耐氢氟酸进样系统配备
.:0.8u(10%);;
能够消除干扰离子如381+4
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