特殊气体管路施工规范

1、有特殊气体管路及高洁净度管路、施工规格、2、目录、1、洁净室作业安全规格P 3 2、管路安装管路架设p8、弯管作业规格P 17 4、焊接规格p24、测试规格P 28 6、工安规格p36及(2)金属碎屑等(三)有规律的保管材料。 (四)禁止在工作区内吸烟、饮食。 (5)所有工作区必须有垃圾场，必须收集垃圾等。 (6)材料人员的进出必须干净一次。 (7)全体人员及设备须每周打扫一次。 (八)产生污染的工作必须是隔离。 2、非常干净的区工作条件(洁净室地下回气区) (1)必须更换专用的鞋子和鞋套。 (2)使用吸尘器去除污垢。 (三)有规律的保管材料。 4、(4)禁止在工作区内吸烟、饮食、饮料。 (5

2、)用完的材料、剩馀的材料等必须每天去除。 (6)所有工作区内都需要密封式垃圾场，收集垃圾等。 (七)材料人员的出入必须加以限制。 (8)全体人员及设备须每周打扫一次。 (9)产生污垢的作业必须隔离(涂装、磨砂涡轮等)。 (10 )进出工作区的所有材料必须打扫干净才能进入。 (十一)所有车间必须更换干净的工作服。 (十二)车间管道设备禁止挂物、践踏或吊起。 3 .绝对清洁区的工作条件(洁净室生产区) (1)必须更换洁净专用的鞋子和鞋套。 (2)使用中央系统真空或特殊过滤装置的便携式真空吸尘器，除去作业时产生的金属等粉屑。 (3)有规律地保管使用材料。 (四)禁止在工作区内吸烟、饮食。 (5)用完

3、的材料、剩馀的材料等必须每天去除。 5、(6)工作场所需密封式垃圾场，收集垃圾。 (七)材料人员的出入必须加以限制。 (8)所有职工及业主应每天保持清洁。 (九)产生污染的工作必须在进入洁净室之前完成。 (10 )进入工作区内的所有材料和工具，进入前必须用水清洗干净。 (11 )进入洁净室除了要换洁净依靠和尼龙手套外，侑预还要穿干净的工作服。 (十二)禁止木质或瓦模糊的纸板箱进入洁净室。 (十三)禁止液体或者你接触不知道的器物。 (14 )含油工具禁止带入。 4 .洁净室施工安全规则(1)指定负责人处理安全问题。 (二)不雇用童工。 (三)在工作区内禁止吸烟。 (4)必须准备安全眼镜。 (5)

4、在洁净室内佩戴安全帽，尤其是有振动时。 (6)不得随时堵塞通道或出入口。 6、(7)在工作区工作，产生必须保持干净的垃圾时，必须随时准备垃圾袋，在每天收纳时带上干净的房间。 (八)发生事故时，应当立即通知监督。 (9)特殊危险工作区需要安全围栏和警告标记。 (10 )地板开口处必须有安全围栏和警告标志，以免人掉落。 (十一)准备灭火器以备火灾。 (12 )灭火器只能使用泡沫灭火器，不能使用粉末灭火器。 (13 )工作台离地面2M以上时，使用鹰架，人员必须系好安全带(缆绳)。 (十四)鹰架、楼梯及工具应保持良好状态。 (15 )离开地面2M以上时，请将工具放入工具袋(箱)内。 (16 )同时两组

5、人员在不同高度工作时，需要良好的联系。 (17 )在工作区工作时，如果产生必须保持干净的垃圾，必须随时准备垃圾袋，在每天收纳时带上干净的房间。 (十八)发生事故时，应当立即通知监督。 (19 )特殊危险工作区需要安全围栏和警告标记。(20 )地板的开口处必须有安全围栏和警告标志，以免人掉落。 7、(21 )准备灭火器防止火灾。 (22 )灭火器只能使用泡沫灭火器，不能使用粉末灭火器。 (23 )工作台离地面2M以上时，使用鹰架，人员必须系好安全带(缆绳)。 (二十四)鹰架、楼梯及工具应保持良好状态。 (25 )离开地面2M以上时，请将工具放入工具袋(箱)内。 (26 )同时两组人员在不同高度工

6、作时，需要良好的联系。 (27 )未照顾可燃物时，请不要放置在作业区域内。 (二十八)化学品泄漏的，应当立即处理。 (29 )可燃物请放入有盖的容器中。 (30 )请勿随意打开、关闭、拔出阀、开关插座、电源插座(机台线)。 (三十一)任何配管配线材料，未经监督者同意，不得擅自变更。在洁净室或简易洁净室进行高洁净度配管作业时，管道的架设应遵守以下规定。 1 .在现场工作中搬运材料必须放入特定的储藏室。 工地或材料之间应提供临时的简易洁净室，所有材料应妥善保管。 收纳材料时，必须将电子研磨的管道和未电子研磨的管道分开。 如果还没有使用接头，请不要打开塑料包络。 此外，当前使用时，不要将材料直接放在

7、地面上。 切管时，使用的自动切割机或手动切管器必须专门针对半导体工厂的工作进行修订。 管式切割机的刀具与管垂直，使用自动切割机时，管的深度必须使薄层还没有切断，切割时的切屑不能进入管内。 9、倒角原则上在使用倒角机(TUBE SIZE用)或锉刀(PIPE SIZE用)时，慎重拆下切断面。 切断面变形不垂直，发生焊接口松动、管道弯曲等情况时，此类管路不在规定范围内，需要重新切断和配置。 倒角时，管的另一端必须用高洁净度的氮气吹走(氮气用0.02um的过滤器过滤)。 N2吹风吹出管内的粒子。 检查作业后的清洗切断机的清洁度，保护机械不受油污损害，如果发现油污损坏或切断的碎片残留时，按照以下方法清洗

8、。 GN2吹风使用的N2必须经过-80以下的露点，用0.02um的过滤器进行干燥。 预制作业(简易洁净室clean booth )现场的焊接作业需要最小限度。 配管区是有洁净气体的地方，运转时必须维持风扇的正常运转，早、中、晚用CO2检验器检验CO2的浓度。 点焊点焊使用TIG焊，点焊点数遵守以下规定。 (CAJON的焊机必须保证管道牢固，从完成的观点来看最好不要使用手动的TIG焊接，所以省略了点焊。 从3/4”到15A到80A:34点。 背射气体(Back seal gas )使用氩气，露点-80以下，氧含量为0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量为零。 冲头用插座连接冲头气体管路和架

9、设管路，(Back seal jig )如图(1)所示，(1) (参考用)，11，架设顺序(图2 )在工作管路的两端盖上插座，连接冲头气体和阀。 图(2)、12、封接(在Clean booth内进行)完成后，在管内充满Ar气，并且用清洁的塑料薄板在末端包上2层。 如果末端的阀门连接着的话，阀门也请用塑料薄膜包起来。 2 .现场施工现场焊接的人员必须通过高清洁度管道技术检查。 焊接作业，13，保持现状。 拆下其中一个包络，连接Back seal gas。 拆下要焊接的端盖，吹干净。 连接后，拆下一端的Back seal gas作为排气端，开始焊接。 即使管路维持条件焊接结束，也必须维持少量的N2

10、或Ar，吹走管内，避免空气流入管内。 必须取出管内的空气和微粒子，再吹走。焊机电源电压的波动对管道焊接质量有很大影响。 使用自动焊机的电源必须使用特定的整流器。 允许的电压变动AC 100V10%、AC 200V10%，焊接时电压警报器经常监视叶片电压，电压超过允许的范围时警报器发出声音。 3 .其他注意事项下述作业必须在架设高清洁度管路时执行。 14、控制氩气冲压用压力修正或水平修正，调查还有多少氩气。 看流量修正的刻度，检查吹气的容量。 使用采集的样品阀从钢瓶或气源采集氩气，测定氩气纯度，确认露点为-80以下，残留氧不足0.1ppm，微粒含量为0 (0.1um以上的微粒)。 在作业场所测定

11、架设管路末端的氩气纯度，确认露点在-70以下的残留氧气不足2ppm，测定场所必须是监督和焊接同意的场所。 在前四项规定的工作之前每天开始工作由主管或者工作人员执行管理质量符合要求。 如果气体容量达不到标准，则通知监督，暂停工作，但冲击继续进行，或者使用预约的LN2，使用预约的LN2时，必须进行分析供给气体纯度的工作。 简易洁净室(Clean booth )的清洁度的控制，在Clean booth内测定的焊接部位的粒子数(0.1um以上)不能超过100个/c.f，class 10000用于储存，class 1000用于组装。 在正常使用过程中，每天至少进行一次微粒的测定作业。 15、洁净衣物的规

12、定Clean booth内使用的洁净衣物、洁净鞋、洁净手套及其他设备在使用前应检查清洁度。 使用的清洁衣物等，不管有无污垢，一周必须清洗一次。 洁净室应当根据洁净室人员管制规定的管制细则，致力于所有员工在高洁净空气环境中工作。 焊接状况的检查(个人或监修)自动焊机的工作条件发生变化时，必须确认焊接数据与工作条件一致。 钨棒的保养及限制要始终注意钨棒是否变形。 磨钨棒的工作必须由监督者认可的专家使用特定的设备来执行。 样品制作及焊接条件的检查(焊接者或监督)每天早晨、上班前制作多个相同大小的样品。 监督切开样品，检查管道内部焊接情况，目测确认焊接处有无不规则孔、裂缝、气孔、无完全熔透等缺点。 1

13、6、发现焊接缺陷时，检查焊接条件，更换钨棒，检查吹气的纯度、质量及吹气方法，直到结果满意后才能进行配管作业。 样品和焊接数据必须同时保存。 4 .要求搬入和架设机器，从侧边搬入机器，事先申请同意路线，将使用的拖车放置在特定场所。 水泥地面使用铁锚类等固定设备。 确认纵横方向没有错误后，固定机器。 机器在刷地板防尘油漆之前必须先安装。 管路标记至少每隔5M将标签粘贴在管路上，除表示气体名称流向的编号on/off显示球阀以外，所有的阀都必须显示on/off。 17、弯管作业规格1、本项说明制作Gas System时，使用手工具PIPE BENDER进行弯曲作业的方法。 主要对象SUS 316 BA

14、管，外径1/4” (6.53 )使用刀具R1 NO.394 LEVER型刀刃。 2、配管图的看法和管长的决定配管图的尺寸表示配管中心的尺寸或中心配管末端的长度。18、通常多在配管分支点实施熔敷，如下图所示。 距离中心点的长度约3 mm (1/4) (3. 15 mm-3mm )约5 mm (3/8” OD )、19、使用TUBE BENDER每次20，180度弯曲(r弯曲)、弯曲的SET BACK为14.6 mm，修正如下。 管长=(503090120 )-14.6-6.4=269 mm1/4”od和3/8”时的r弯曲Set Back通过23.6 mm以上图的原理得到(503090120)-2

15、3.6其Set Back为0，例如为：其管长=(5053.94 ) 所谓的Set Back是1/4” OD配管，每弯曲6.4 mm (6.35mm )这么短，22、例：必要管长=(50 70 80)-12.7=187.33 mm 2次弯曲的Set Back通过准备187.3 mm长的配管进入作业3、配管切割配管切割使用Tube Cutter (Pipe Cutter )工具RIDGID NO.105，开始配管切割时，为了使配管轴部方向不成直角，必须前后旋转34圈半后进行沟槽。 配管的切断部位，事先用红笔做上记号。 一次将切断深度切深的话，切口不会成为正圆，而是缓慢前进，方向盘的旋转角度保持约3

16、0度即可。 切割完成后，如果管内表面产生突屑，则内径缩小，需要用铣刀除去。 最后用铣刀清除碎屑。 4、配管弯曲作业应注意的原则比较配管弯曲作业开始注意原则图纸上的两端，从短的一端开始弯曲，在短尺寸的配管上做上记号，将这部分放置在Bender左侧Set上。 根据Bender的状态，一直检查管是否损伤或变形。 两端一方弯曲180度(r弯曲)时，需要从180度弯曲方向进行作业。 此时，r弯曲尺寸在配管上做上记号，将该处理设置在弯曲机的左侧。 23、5、尺寸固定(划线划线方法)从配管测量尺寸，使用普通的尺寸即可。 用红铅笔做上记号。 在弯曲的配管上施工后，使用t形特殊规格，从配管的中心画线。 实施90

17、度以内的弯曲后，制作第2次弯曲尺寸，按照以下方法实施。 6、焊接部分的注意事项使用Argon Arc分支部分，使用专用冶金工具，用板钻孔。 开孔时，配管内部会产生突起屑，粉屑用Reamer工具去除。 在多个弯曲作业中有熔敷分岔的情况下，弯曲作业的中途开孔或去除粉末的作业是必要的。 这是因为在弯曲作业结束之前，无法通过开孔或除去粉屑的作业。 使用24、焊接规格、1、电源(1)测试器，电压(2)使用220V时，确认接线。 (使用110V电源时，为了保护接线要使用带漏电中断器的插座。 (4)接地线在熔接机中单独使用。 2 .氩气(1)Argon gas纯度达到99.999以上后才使用。 (2)原则上使用液化Argon Gas。 (3)熔敷时不能除去氧化膜的情况下，检查Gas以及气体管路。 3 .钨Tungst