MEMS产业发展现状及应用前景ppt课件

1、MEMS的发展现状及其应用前景，1、交流PPT，一、MEMS定义概述，MEMS是英语微电机系统的简称，是一种微电子机械系统，通过集成电路等工艺批量生产， 从具有毫米级尺寸和微米级分辨率的微小化和集成化的观点来看，MEMS是指可批量生产的、从微机构、微传感器、微致动器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源等一体化的微型机器2、学习交流PPT，与以往的机械系统相比，MEMS系统具有微细化和集成化：几何尺寸小、易于集成的优点。 微加工技术的采用使得能够制造微米尺寸的传感器和传感器装置，形成二维或三维传感器阵列，并且能够加入集成集成的大规模集成电路，其中，最终的装置尺寸通常是毫米级的。 学习了内置M

2、EMS镜片、隐形眼镜的MEMS传感器，3，交流PPT，采用低功耗和低成本：一体化技术，大幅度降低功耗，并采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，因此，易于规模化生产，成本低。 高精度和长寿命：采用集成化形式，传感器性能均匀，各部件之间配置协调，匹配良好，无需校准调整，提高了可靠性。 动态性好：精细化，质量小，响应速度快，固有频率高，具有优良的动态特性。MEMS加速度校正、陀螺仪和地磁传感校正、4、交流PPT、2、MEMS的历史和发展现状、2.1 MEMS的发展历史、MEMS、1947 1954 1958 1962 1988 1993、学习LIGA技术、5、学习交流PP 研究了表2-1 MEMS发

3、展历史表、6、学习交流PPT、2.2 MEMS的发展现状，MEMS技术自20世纪80年代末以来受到世界各国的广泛重视，其主要技术途径有3种： (1) . (2)以德国为代表发展起来的LIGA技术(3)以日本为首的精密加工技术。 研发MEMS前端需要大量的资金和时间，风险非常高，所以民营企业往往不希望单独承担。 国外MEMS研究主要由政府资助进行：美国以大学为中心承担MEMS研究开发风险德国和瑞士的自治体主导的半官方半民间机构进行MEMS研究法国以国家机构为主导承担MEMS研究风险，每年投入约12亿美元的研究开发费。 日本以大型财团和科研机构为中心研究MEMS，年总投资额超过2亿5千万美元。 1

4、 )美国：确定军事应用是其主要方向，着重研究以惯性器件为代表的MEMS传感器。 以硅微加工工艺、体硅工艺、表面牺牲层工艺为代表。 在MEMS的发展初期，美国重视牵引研究主体大学和企业的结合。 由美国朗之万公司开发的基于MEMS光开关的路由器已经试用，预示着MEMS发展的又一个高潮。 目前，一些器件已经实现了产业化，应用领域非常广泛，如微加速度校正、微压力传感器、数字微镜器件(DMD )、喷墨打印机微喷嘴、生物芯片等。 90年代初ADI公司开发了汽车安全气囊用的低成本集成硅微加速度传感器。 2.2.1学习海外发展现状，7，交流PPT，2 )法国：在市场运营方面，法国和美国市场紧密合作，瞄准美国宇

5、宙和军事市场，以此为立足点在民间产品、汽车和新领域开展。 在2013年技术联合国国际会议上，法国国家订量和测试实验室发布了首项MEMS输出精密订测技术，有助于世界MEMS厂商降低产品性能开发、新功能开发、大规模生产的能耗，提高市场小型化的需求和可靠性。 3 )德国： MEMS在德国国内的重点领域是汽车，其次是化学设备、半导体。德国直通研究中心于1987年提倡LIGA工艺而闻名，该技术采用x射线光刻技术，通过电铸成形和注射工艺，形成深层微结构。 8、学习交流PPT、军用MEMS、汽车行业应用MEMS形势的提高；4 )瑞士：主要从事高性能MEMS产品的开发、制造和材料表面评价设备的制造销售。 瑞士

6、在联邦政府的支持下主导了cesm (centresuissedelectroniqueetdemicrotechnique )，形成了以MEMS等技术为基础的“瑞士版硅谷”。 CESM与通用deneuchtel、洛桑联邦理工大学、苏黎世联邦理工大学和法国LETI建立了合作机制。 1986年瑞士CSEM开发了硅反馈式加速度校正5 )日本：日本重点发展了进入工业狭窄空间的微机器人、进入人体狭窄空间的医疗微系统和微工厂。 日本方面最关注MEMS技术。 日本政府将微机电系统定位于增强日本产业竞争力的重要技术。 2007年夏天，文部省发表了“尖端融合领域革新创造基地的形成订划”，学习08年度日本经济产、

7、9、交流PPT，业界省推进了“BEANS项目”和“梦幻芯片开发项目”。 BEANS预计在2008年到2012年的五年间将有大约100亿日元的预算，预计将生物技术和纳米功能导入到MEMS技术中。 现在日本各地有100家以上的MEMS厂商，以Olympus、Canon、Fujikura和设备制造，例如MEW、Oki等为代表。 日本也有很多设计公司，主要是r无阀型微泵经常利用流体在微尺度上的新特性，原理比较新颖，适合微细化，有着更大的发展前景。 主要应用：1.药物供应； 2、芯片上化学反应物的供给； 3 .生化传感器。 24、学习交流PPT、微电子超纯泵，采用MEMS技术加工微米级喷嘴，95%以上颗

8、粒在1-5微米之间，喷雾量可控制在微升级以内。25、交流PPT、(3)学习微型继电器，继电器是广泛应用于信息处理、通信、控制、机电一体化等领域的重要部件之一。 随着航天和微卫星技术的发展，继电器对小体积、低功耗的要求越来越迫切，传统继电器不能满足这些要求。 近年来，MEMS技术的巨大发展和应用为新型继电器提供了新的思路。 基于MEMS技术的继电器与传统继电器相比具有体积小、功耗低、接触阻抗低、开关速度快、电路集成容易等优点，越来越受到关注。 MEMS常用微型继电器从驱动原理上分为静电型、电磁型、电热型、电液型。 典型应用：学习无线设备军事通信自动测试设备、超小型MEMS高频继电器、26、交流P

9、PT，现在，MEMS技术处于高速发展的前夜，在21世纪显示了巨大的发展局面，其广泛的应用和利益被强有力地显示，它是最近面向信息、航空、宇宙飞行、自动控制推出的高速在各种移动终端、游戏机、遥控器等设备中，MEMS运动传感器可以实现先进的功能，通过动心用户界面、用户手势、触摸来激活相应的功能。 国高(淄博)微系统科学技术有限公司发展势头强劲，运作迅速。 利用清华大学机械工程学院在MEMS领域的科研和人才优势，依靠淄博集成电路产业的基础和政策优势，共同建设国家级MEMS中试代理平台，建设国家级微系统产业化基地，引领国内MEMS器件产业化进程，实现电子信息产业的跨越式发展。 27、学习交流PPT，国高

10、(淄博)微系统科技有限公司是一家专门从事微传感器研发和生产的国有控股公司。具有国际先进水平的MEMS设备生产，生产能力达到月产传感器10万只以上的产品测试环境也处于国内先进水平。 28、学习交流PPT，国高(淄博)微系统科学技术有限公司拥有国内一流的清洁环境和国际先进的MEMS技术加工和检测设备，通过产学研的协同创新，建设具有推进原始创新的国际先进水平微纳米器件的代工平台的高级器件研究投资5400万元，建设净化车间5000m2，其中净化面积1540m2，包括百级340m2、千级400m2、万级和十万级800m2。 学习交流PPT，最初投资9000万元，德国SUSS公司MA150e步进机，奥地利

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