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文档简介
微电子设备安装工程单机调试及试运转1.1设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管配线完成,并应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单位组织实施。当设备安装与单机调试非同一安装单位时,单机调试应由生产厂或供货方进行;当设备安装与单机调试为同一安装单位时,单机调试应由施工单位进行。1.2设备试运转应具备下列条件:1设备安装完毕,验收合格;2设备所需各种气体动力配管配线已与设备接通,各种介质的各项参数(包括纯度)符合设备使用要求;3给水、排水、排气、排风已与设备接通;4电气线路相位正确,接线端子连接牢固、可靠,绝缘电阻测试合格;5接地正确,连接牢固、可靠;6房间洁净度、温湿度、照度指标测试合格;7室内各项安全设施和消防设施满足使用要求,且运行正常。1.3典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收,应按本标准附录E的要求进行。进口设备应按设备采购合同技术服务条款执行。
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