显影清洗机单机试运转_第1页
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文档简介

显影清洗机单机试运转1.1试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境温度应为22±2℃，相对湿度应为30%～70%，洁净度等级应不低于ISO7级，室内灯光应为黄色；2电源供电电压允许偏差应为额定电压（380V）的±10%，电源频率偏差允许应为标准频率（50 Hz）的±2%；3压缩空气进气压力应为（0.3～0.6）MPa，进气流量不小于60 L/min；4氮气供气压力应为（0.3～0.5）MPa，进气流量不小于30 L/min；5去离子水压力应为（0.25～0.4）MPa，流量不小于10 L/min，电阻率不小于16MΩcm；6接地引出端应与厂房接地系统稳固连接，接地电阻小于4 Ω。1.2验收项目应符合下列要求：1压缩空气气源接口应能承受不小于0.7MPa的气源压力；2氮气气源接口应能承受不小于0.5 MPa的气源压力；3去离子水接口应能承受不小于0.5 MPa的压力；4可实现上下片、中心定位和显影腔体三工位传送晶片，R向传送精度平均值应不大于0.1mm；5承片台可真空吸附定位晶片，连续运行不掉片；6主轴转速范围应在50rpm～5000rpm之间，速度增量应为1rpm，速度精度应为±5rpm；7显影单元应具备柱状/雾状两种喷嘴可选，显影液温度范围应在15℃～30℃之间，控温精度应为±0.5℃；8干燥单元应在室温～80℃之间，过滤精度应为0.02μm；9去离子水冲洗压力范围应在0.15MPa～0.30MPa之间，流量范围应在2L/min～6L/min之间；10设备正常运行时，用声级计在其水平面四个方向上，离地高度1.2 m，距离机壳1 m处测量噪

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