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UDC661.868.146-415H81中华人民共和国国家标准GB11093-89液封直拉法砷化掠单晶及切割片Liquidencapsulatedczochralski-growngalliumarsenidesinglecrystalsandAs-cutslices1989-03-31发布1990-03-01实施国家技术监督局发布
中华人民共和国国家标准液封直拉法砷化家单晶及切割片GB11093-89Liauidencapaulatcdczochralsiki-rownealltumarcnidesinglecrystalsandAs-cutsliccs主题内客与适用范图本标准规定了波封直拉法砷化镖单品及切割片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则等。本标准适用于液封直拉法制备的砷化家单品及其切割片。产品供制作光电器件、微波器件和传感元件等元器件用。2引用标准GB4326非非本征半导体单品蛋尔迁移率和霍尔系数测量方法GB8759化化合物半导体单品晶向×射线衍射测量方法GB8760神化家单品位错密度测量方法产品分类3.1导电类型产品按导电类型分为N型和P型,按电阻率分为低阻导电型和高阻半绝缘型。以掺杂剂、教流子浓度和迁移率分类,按位错密度分级。3.2牌号单晶及切割片的牌号分别表示为LECMGAAS阿拉伯数字与罗马数字组合表示产品的等级与等次北化学元素符号表示掺杂剂。有两种掺杂剂时,元素符号之间用“十”连接表表示液封直拉法砷化镖单品中国
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