教程之三3-ROFIN激光器安装、检测、切割参数调整、故障处理

1、ROFIN激光器安装、检测、故障处理、切割参数调整目录ROFIN激光器安装、检测、故障处理、切割参数调整1第一章ROFIN激光器安装检测表1第二章Rofin 故障信息报警表2第三章ROFIN激光器切割参数调整6一序言6二机器7三材料71.不锈钢1.4301的切割效果72.低碳钢的切割效果8四切割参数调整91.焦点位置的定义92.不锈钢AISI 304的参数调整93.低碳钢O2切割参数的调整13五切割参数和表161.参数162.表格16ROFIN激光器安装、检测、故障处理、切割参数调整本篇所称ROFIN激光器，是指DC 0XX系列CO2 Slab激光器。第一章 ROFIN激光器安装检测表有资格的

2、人员才能进行ROFIN激光器的安装检测。安装与检测的步骤应按照下表进行。序号任务 ü测得值/备注1检查包装箱是否损坏，倾斜和倒置标志是否变色。发现损坏请与 Rofin Sinar 联系。2检查激光头和控制柜是否损坏，在安装之前，发现损坏请与 Rofin Sinar 联系。3把激光头放在激光器支架上。参考操作手册(4-110)。4连接高压安全接地棒到X56上。5连接激光头和控制柜之间的电缆：a. W60X60b. W42X42c. X4X4 PCB 608或模拟接口(Lascon) 9pin D-sub插头。d. 高压同轴电缆W6的中心头接到控制柜的高压接头X6，同轴电缆的地线控制柜的

3、地线连接。e. PWM同轴电缆W5接到X13 PCB 608或模拟接口(Lascon)。f. 地线连接到X9上。6P200电源连接激光头到接线板的电缆。g. W60接到X60h. W42接到X42i. X4接到X4 PCB 608 j. 高压同轴电缆W6的中心头接到控制柜的高压接头X6，同轴电缆的地线和地线连接。k. PWM同轴电缆W5接到X13 PCB 608。l. 地线连接到X9上。m. 注意: 电气端子X71相当于X30。7连接冷却水管并检查是否泄漏。a. 主回路为1 "水管。b. 控制柜为3/8 "或½ " (不适用于P200电源)。 (参考手册

4、4-1114页和说明书第8部分)。8连接氮气或清洁干燥空气(5bar)到激光头上。(为整型光学提供保护气)纯度级别为4.6。9用蒸馏水加满去离子冷却水箱。(参考手册7-1112页)10拆下激光束出光口的保护胶带。11检查真空泵油位是否达到油窗的1/2处。(参考手册7-4页)12安装激光气瓶和减压阀。I(参考手册7-58页)13断开客户现场空气开关，连接主电源。(参考手册4-19页)14检查控制柜变压器的抽头T1和T2是否与客户现场的电源电压相匹配。15a. 检查客户现场的电源电压是否400 VAC (390V410V)。b. 如果相序不正确，主电源将关闭，K13红灯亮。重新输入主电源相序。c.

5、 合上主电源。d. 主电源启动以后将进行去离子水流量测试。e. (参考手册7-1112页)16执行真空测试，抽真空时间至少要15分钟。漏气比不能大于0.1hPa/2.5小时。如果大于该值，要执行12小时泄露测试(一整夜)。17打开激光气瓶的阀门，按下主电源按钮，执行两次气体更换，气体更换结束后关上气瓶阀门。18从X56上拆下高压安全接地棒。19高压电源的钥匙开关S8转到手动位置或光闸的钥匙开关转到1的位置。20检测RF管灯丝电流，如果不正确要重新调整。DC010DC035：178A DC040DC050：225A21警告：不要输出激光功率，先检查spatial filter。a. 设Beam

6、ON时间为20ms，CW方式，输出功率15%，占空比100 %。用热敏纸检查输出模式是否正常。b. 在光闸后面放一张热敏纸。c. 打开光闸高压放电。d. 关闭和高压电源。e. 如果必要，调整spatial filter。22记录光闸维持电流 (正常值为250Ma) 。23记录栅极电流。注意：栅极电流在有效为85%时。DC010DC035：2,3A (示波器)，2,0A (DVM)均方根表。DC040DC050：3,0A (示波器)，2,6A (DVM)均方根表。24检查激光功率，校准最大输出功率值2500W。25检查在C50%和100%输出功率时的模式并与出厂模式相比较。26检查定位红光是否与

7、输出激光同轴，如果必要需调整。271 填写服务/维修报告2 填写质保卡第二章 Rofin 故障信息报警表状态信息 / 故障报警: 故障报警文本中带“*”的报警必须按RESET键。主电源故障：输入故障叙述结果显示主电源电压 > ± 10 % 或输入相序错误。主电源,计算机,高压电源关闭。Display isOFF(no text displaypossible!)状态信息:输入故障叙述结果状态文本:真空室需要抽真空(在真空测试或激光气体更换过程中)高压锁定EVACUATION激光气体正在更换。该功能可以用服务菜单对应的功能键激活。高压锁定GASEXCHANGE真空室正在充气(激光

8、气体在更换)高压锁定GASFILLING主电源关闭准备启动主电源。.高压锁定MAINS OFF真空测试正在进行。真空测试功能可以在服务菜单中用开关ON或OFF完成。高压锁定VACUUMTESTX100.2X100.4当主电源按钮ON之后, RF管的灯丝ON之前,电脑将检测正确的冷却水流量,最多不超过3分钟。高压锁定WATER TEST报警信号:输入:故障叙述结果报警文本:报警信号:激光气体压力超过真空室上限，该信号表示激光气体需要立即更换。无CAVITYPRESSUREX100.7报警信号:气瓶中的激光气体压力 (S26压力开关)太低或气瓶没打开或气瓶中的激光气体压力(P < 30 ba

9、r)。气体无法更换*GAS BOTTLEPRESSURE报警信号:72小时没有更换气体，在下一个24小时内高压将被锁定。可以工作24小时*GASCHANGEIN MAX 24 hX130.6报警信号:真空泵电机的断路器Q4 跳闸。气体无法更换*I > VACUUMPUMPX140.4报警信号:激光发射警示灯的电流监视继电器没给出反馈信号 (激光发射警示灯故障)。无LASERWARNINGLAMPX100.5报警信号:激光束望远镜系统的(压力开关或恒温器)S24已断开。 高压锁定*PRESS/T.TELESCOPE报警信号:激光器的一个或更多元件已经达到服务周期(需要维护)。无SERVIC

10、EINTERVAL故障报警:输入:故障叙述结果报警文本:all X. 24 V电源关闭(当没有24 V电源时, 故障报警不能显示，因为显示器也是由24 V电源提供的)。主电源关闭*24 V SUPPLYX14/X24连接LasConCPU X24和 LasConIO X14(CAN bus) 之间的电缆中断。在LasConCPU X14 或LasConIOX24 (在每个盒子中2脚和7脚之间120欧姆)的终端电阻脱落。LasConIO不是在"module 1"的位置。(必须旋转LasConIO的开关设定一次。(在 module 运行期间)从位置 "0"

11、到"1")主电源关闭,高压关闭*CAN BUSERROR真空室抽真空超过最大允许时间。*EVACUATIONTIMEX100.6RF发生器风扇的动态压力计S25测量的动态压力太低或相序错误。高压和真空泵锁定*FAN RFGENERATOR充气到真空室的最大允许时间超过。高压锁定停止气体更换*GAS FILLTIMEOUTX100.7X130.6出现激光气体更换故障，或不能进行气体更换。高压锁定停止气体更换*GASCHANGEFAULT激光气体必须更换。高压锁定*GASCHANGEREQUIREDX110.1RF管的栅极控制测量到平均栅极电流太大。 高压锁定*GRIDCURR

12、ENTX130.2检测到高压电源过流或短路。高压锁定*HV OVERCURRENTX140.6高压软启动装置没有给出反馈信号。高压锁定*HV SOFTSTARTFAULTX130.2高压过流测量没有给出反馈信号。主电源和*HVMONITORINGX130.7（激光头或控制柜）风扇电机的断路器Q5或Q6跳闸。*I > FANSX130.5RF管灯丝的断路器 Q3跳闸。高压锁定*I > FILAMENT检测到高压电源过流。高压锁定*Ia OVERCURRENTX120.5激光头的门或外部互锁开路。高压锁定*INTERLOCK /DOORSX140.5当高压被锁定时，高压接触器 K1没有

13、断开。主电源和高压锁定*K1 FAULTX130.8当主电源被锁定时，主电源接触器K3没有断开。主电源和高压锁定*K3 FAULT激光功率超过最大/最小允许范围。高压锁定*LASERPOWERLIMITX140.4 激光辐射警示灯的电流监视继电器没有反馈信号(激光辐射警示灯损坏)。高压锁定*LASERWARNINGLAMPX-LaserX4.1/6激光功率测量回路电流低于 3,5 mA(正常 4 - 20 mA)。高压锁定*POWERMEASUREX-LaserX4.2/7腔压测量回路电流低于3,5 mA(正常4 - 20 mA)。主电源和*PRESSUREMEASURE真空室的压力不在工作压

14、力范围内。高压锁定*PRESSURERANGEX140.1X140.2X140.3光闸没有给出反馈信号或反馈信号太慢。主电源和高压锁定*SHUTTERFAULTX130.1监视高压电源变压器的温度传感器S16中断。 高压锁定*TEMP. HV TRANSF.X120.6在控制柜中监视高压电源的温度传感器S14 或 S15中断。高压锁定*TEMP. HVCABINETX100.1监视 RF 管冷却水温度的温度传感器S20中断。高压锁定*TEMP. RFTUBEX100.3监视管冷却水温度的温传感器S22中断。高压锁定*TEMP.WATERX110.3监视光闸温度的传感器S33, S34, S35

15、 或 S36中断。高压锁定*TEMP.SHUTTERX-HVX4.1/6只有激光器起始安装时:确认高压变压器 400 / 480 V 连接是否正确?见 Service / Analog 服务菜单 例如: fig. 6.2/16 b:阳极电压 (Va) ，Va MIN 和 VaMAX:Inform ROFIN-SINAR Service.高压锁定*Va LIMIT没安装高压锁定WATER CONDUCTIVITYX100.4监测冷却水流量的流量计S23中断。*WATERFLOWX100.2 监测RF管冷却水流量的流量计S21中断。 高压锁定*WATERFLOW RF TUBE第三章 ROFIN激

16、光器切割参数调整一 序言切割测试采用不锈钢AISI 304和低碳钢RAEX 380，还用了2-5mm厚的铝AA 5754 (AlMg3)。用DC 025激光器， 可以切割厚达20mm的低碳钢或厚达10mm的不锈钢(不含氧化物)。以下是用来评判切割样品的标准。· 切割边缘无毛刺· 切割表面的最小粗糙度· 切割的垂直度· 与切割方向无关的切割质量二 机器切割参数是在1500mm×3000mm的飞行光路切割系统上用实验方法测得的，光路中使用了3个反射镜，其中最后一个是l/4移相镜。喷嘴的平衡是通过计算机控制的Z轴连同高压切割头上Precitec公司的

17、电容高度传感器来保持恒定的。所用的喷嘴类型为高压型， 嘴口直径为12 mm。较大的嘴口是用机械方法由较小直径的喷嘴嘴口钻成的。所用的聚集透镜是II-VI公司 和 LPO的高压 (25bar) ZnSe弯月形透镜(Æ 38.1 mm， 厚度7.4 mm)， 焦距为5 "， 7.5 " 和 10 "。辅助气体是3.5氧气和氮气，储存在液体罐中。三 材料无涂层的AISI 304不锈钢用惰性气体切割。使用13mm厚的St1203低碳钢; 使用320mm的RAEX 380低碳钢。这是由芬兰的Rautaruuki Raahe钢铁公司专门为激光切割而研制的。由于材料的

18、表面状况会影响切割效果， St1203的表面涂有一层保护油膜。RAEX钢板带有清晰可见的表面刻度- ”微刻度”。1. 不锈钢1.4301的切割效果DC 025能够切割厚达10mm的不锈钢。所有厚度都是用激光器100%的功率和氮气切割的。 14mm的材料在此切割机的所有工作区域(3，0 x 1，5 m)都能切的很好(采用恒定的焦点位置)。对于6mm的厚度， 工作区域限制为大约2，0 x 1，5 m， 否则就必须调整焦点的位置。进一步的测试表明切割表面的粗糙度和Rayleigh长度是直接关联的。例如， 6 mm 1.4301的粗糙度可以通过使用10"的聚焦透镜来降低(见图1、2)。 减少

19、或扩大透镜上的原始光束尺寸，效果一样。 图1 Fig 1 FL 7，5“ vc = 1，65 m/min图2 Fig 2 FL 10“ vc = 1，65 m/min为了得到最佳效果，厚度£ 3mm的用5 "的透镜切割。所有大于4mm的厚度都应该用7.5 "的透镜切割。用10 "的透镜可提高6 mm板的切割质量。 2. 低碳钢的切割效果DC 025可用来切割厚达20 mm的低碳钢。激光器的功率必须和材料的厚度相适配。应该用3.5（即纯度99.95%）氧气作为辅助气。所有的厚度都可以以恒定的焦点位置， 在系统的所有工作区域进行切割。为了得到好的效果， &#

20、163; 3 mm厚的材料应以5 "的焦距和³ 2 bar的气压来切割。4 20 mm厚的板材应以7.5 "的焦距来切割。对3 - 8 mm的厚度， 可使用2组不同的参数， 会产生不同的效果和切割质量。第一个参数域的特点是: 高激光器功率(³ 1500 W)、 正焦点位置zF » +2以及低气压p < 1 bar。切割边缘看起来乌黑发亮，几乎没有纹理。 切口宽度大约为0.3 mm 0.4 mm。切边的形状有最低限度的根切。 第二组参数的特点是：激光器功率< 1500 W，焦点位置zF » 0以及较高的气体压强（> 2

21、 bar）。第二组参数的切割速度可以比第一组高，但边缘的表面光洁度略差。边缘表面的粗糙度上升了，但边缘的直角度较好。典型的切口宽度为0.15 0.2 mm (见 图4) 。图3 t = 4mm P=2500W p=0，6 bar O2图 4 t = 4mm P=800W p=3，5 bar O2四 切割参数调整1. 焦点位置的定义1. 0位置(zF » 0)聚集在工件的表面。2. 负位置 (zF » -x) 聚集在工件的表面以下。3. 正位置(zF » +x) 聚集在工件的表面以上。3.) zf = +xBeam propagation光束传播1.) zf = 0

22、工件2.) zf = -x图 5焦点位置的定义Slab激光器可通过向热敏纸发射低功率聚集光束来设置0焦点位置。这是因为激光器在不同的功率上散焦的光束有略微的变化。通过如下所述的脉冲设置，向热敏纸发射不同z值的光束（采用1mm的步程）。纸上的最小点的位置可用来确定0焦点位置。功率比例(Level)工作模式(Mode)持续时间(Burst)15%连续波10ms附录中所列的参数使用户可以非常快速地为成功的切割建立正确的参数。 表中的数值不是绝对值，而是初值。它们受影响于实际使用的切割系统。材料的化学成分和表面状况对切割参数也会有重要的影响。切割过程的设置应通过以下步骤：l 从表中取出相关的参数。开始

23、试验时，不要用最大值。l 在系统上调节参数。l 切割一次，分析切割结果。l 调整参数，做第二次切割。2. 不锈钢AISI 304的参数调整切割的质量和焦点的位置直接相关联。在用表1设定了参数后，使焦点的位置最优化。图6、7、8显示了在恒定的切割速度和气体压力下，焦点位置是如何影响切割质量的。图6显示的是当焦点位置调为负时，切口的边缘表面。在材料厚度的一半处，可以看到熔化珠。这可能会在板材的底部形成很细的碎渣。我们称之为”易碎熔渣”。图 6 负焦点位置; 易碎熔渣当焦点位置调到更大负值时， 切割过程就中断了。这时能在切口内看到一小缕蓝色等离子体。如果焦点位置调为较少负值， 就能消除易碎溶渣， 得

24、到好的切割质量(图7)。如果焦点位置调为最佳， 就能得到始终良好的切割形状(无熔渣和重凝固的材料熔滴)。可以看和表面平行的线的高度是否恒定， 来判断处理过程是否稳定。图 7 最佳焦点位置: t = 4mm zf=-3如果焦点位置的负值不足够， 在切割边缘的下半部， 切割质量会退化。这可称之为”空心切割边缘”， 它带有一些单条深条纹。见图8。图8 负值不够的的焦点位置 不规则的条纹表明切割过程不稳定。在比以前负值更大的焦点位置上， 可以看见在切割的底边缘形成了重熔渣。图 9 锋利熔渣的形成一旦找到了最佳焦点位置， 如有必要，可以最优化其他参数。为使切割过程最优化， 对所产生熔渣的类型进行分级是很

25、有用的。可分为两种熔渣类型: 水滴式熔渣和锋利熔渣。水滴式熔渣(图10)因切割边缘底边的滴串而得名。这一类型熔渣的成因可能是焦点位置太高了; 或者在设定的功率水平上， 切割速度太低。图 10 水滴状熔渣和水滴状熔渣对比， 锋利熔渣(图 11) 很锋利和尖锐。这种熔渣的成因可能是: · 焦点位置太高· 切割速度太高· 气体压力太低· 喷嘴直径太小· 喷嘴离位太高图 11 锋利熔渣如果材料的厚度³ 6 mm， 切割边缘那就不可能达到象< 6mm的那么光滑。不论采用多长的焦距， 切割表面看起来总是相似。但是， 采用较短的焦距比较容易得

26、到无熔渣的切割。而使用短焦距透镜(5")的缺点是切割边缘相对材料表面的角度较大。图 12/ 13 10 mm 不锈钢分别用7.5" 和 10 "焦距切割时的表面纹理此处所说的惰性气体切割的现象， 和用高压氮气切割不同材料的效果相类似。1) 穿孔穿孔以启动惰性气体切割很容易。喷嘴距板面高度增加到一定位置，焦点位置为0的位置。穿孔气体的压力大约为1.5 bar to 3 bar N2。要从所穿的孔开始切割， 通常用两种方法: · 把切割头移(正常为向下)到切割位置， 增加气体的压力， 并以减低的速度开始切割。· 以减低的速度、喷嘴距板面高度大开始切

27、割，在切割中把切割头逐渐（正常为向下）移到切割位置3. 低碳钢O2切割参数的调整通常，激光器O2 辅助的切割过程理解起来比较复杂， 因为和此过程相关的参数较多。通过使用表2中的参数， 就可快速地得到正确的参数， 以成功地进行优质切割。在接下来的章节中， 描述了一些对调节切割参数重要的基本现象。薄板(St 1203， 1 mm)可以以18 m/min的速度、100 %的激光器功率进行切割。在这样的高功率和高速度下，切割形状会略呈波浪形，并会有一点熔渣附着在边缘的表面(图 14)。图 14 1mm 低碳钢， 18米/分图 15 1mm低碳钢， 9米/分如果以较低的功率和速度，就不会有这些问题。 (

28、见图 15)对工艺范围的界定不象对惰性气体切割的界定那么容易， 因为可能的切割边缘缺陷数量比惰性气体切割多的多。如果切割参数不正确， 通常会有以下的缺陷· 在切割样品的较低表面上的熔珠· 不规则或深条纹· 腐蚀或挤压· 波浪形切割边缘这些故障有可能是一个或几个不正确的切割参数所导致的。因而， 有多种途径可以排除某一故障。但是， 使用表2 中的参数可以快速的得到正确的参数进行成功优质的切割。记住， 有两个参数窗口。用第一个(高功率， 低气体压力)， 波浪形的切割边缘表明焦点位置为正。用第二个(低功率， 较高的气体压力)， 切口会在较高的功率上或切割速度升高

29、时部分闭合， 这就表明了工艺的限度。以下调节会导致切口部分闭合: · 焦点位置调低· 切割速度调高· 气体压力调低· 激光器功率调低· 喷嘴口调小1) 穿孔任何类型的激光切割开始时， 都必须首先在材料上穿孔， 方法如:Ø 啄穿; 用激光脉冲方式， 或者Ø 在连续波模式中使用100 % 的功率正确穿孔方法的选择取决于使用者， 并可针对不同的应用选定最佳的参数。第一种方法会在切割轮廓上产生小孔， 可以用来切割小轮廓(例如小孔)。第二种方法用来在切割轮廓之外的边角料上快速穿孔， 会产生较大的孔。请查阅系统手册， 看制造商推荐使用的

30、穿孔方法。最厚15mm的低碳钢可用脉冲激增(通过改变脉冲的频率)的方法来刺穿。在这些情况下， 应选用脉冲模式7(见激光器手册)， 可调节的值如下所示: · 最大功率比例最大脉冲功率比例· 频率· 占空比· 上升时间· 穿孔时间· 喷嘴距板面高度这种穿孔办法的优点在于: 开始孔小， 毛边最小; 缺点是:穿孔时间长(尤其对于厚材料)第二种方法是: 切割头停在工件表面上方10 - 20 mm处。启动激光器， 熔化的材料用气体流侧吹， 以形成一个大孔。最厚5 mm的铝是在连续波模式下， 用氮穿孔的。 更厚的是用脉冲模式穿孔(辅助气用氧气)。这

31、样较为容易， 并减少了从工件返回进激光器的反射。五 切割参数和表1. 参数切割效果取决于具体的工艺参数，总结如下:输入参数输出参数系统参数· 光路· 镜片数量· 系统概念工艺参数· 每单位长度的能量 · 焦点位置· 气体参数· 喷嘴参数· 切割边缘的质量 · 切口宽度激光束参数· 强度· 光斑尺寸 材料参数· 材料特性· 材料的表面上表显示了可能影响切割效果的参数的大部分因素。因为这个原因，以下的表列出了切割参数的典型值。它们并不适用于具体的个案。但可用其作为参考，

32、以找出正确的启动参数。2. 表格表1-10， DC010-DC 030，低碳钢和不锈钢切割参数表11-12， DC 025，Al Mg 3切割/穿孔参数表13-14， DC 025，低碳钢和不锈钢穿孔参数表1: DC 010不锈钢切割参数材料厚度 mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度 m/min气体压强N2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15-0.510005.5101.50.525-110003.5101.50.53-1000-47.5-310001.417.520.7表2: DC 010低碳钢切割参数材料厚度 mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割

33、速度 m/min气体压强O2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15075093.510.525-0.58006.5311350800431147.5210002.30.71167.5210001.60.71.2187.52100010.71.51表 3: DC 015不锈钢切割参数材料厚度 mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度 m/min气体压强N2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15-0.515007101.50.525-115004.8101.50.53-1500-47.5-315001.817.520.7表 4: DC 015低碳钢切割

34、参数材料厚度 mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度 m/min气体压强O2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15075093.510.525-0.58007311350800431147.5215003.30.71167.5215002.20.71.2187.5215001.50.71.51107.5215001.10.71.51表 5: DC 020不锈钢切割参数材料厚度 mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度 m/min气体压强N2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15-0.5200012101.50.525-120005.51

35、01.50.53-2000-47.5-320002.517.520.7表 6: DC 020低碳钢切割参数材料厚度 mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度 m/min气体压强O2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15075093.510.525-0.5800731135-0.5800431147.5220003.450.71167.5220002.60.71.2187.5220001.70.71.51107.5220001.30.71.51127.5220001.10.71.51表 7: DC 025不锈钢切割参数材料厚度mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W

36、切割速度m/min气体压强N2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15£0250010.0 - 18.06 - 101.50.525£025005.0 - 7.06 - 151.50.535-1 - -325003.5 - 4.012 - 161.50.547.5-2 - -425002.1 - 3.613 - 191.5 - 2.00.567.5 - 10-5 - -725001.3 - 1.816 - 192.00.587.5-7 - -925000.4 - 0.618 - 202.00.5107.5-9 - -1125000.2 - 0.318 - 2

37、02.0 - 2.40.5表8: DC 025低碳钢切割参数材料厚度mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度m/min气体压强O2 bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15£0750/25009.0 / 18.051.00.725£08005.0 - 7.03.51.00.735£08003.5 - 5.03.51.01.045/7.5³0 / » +2800 / 25003.0 - 4.03.5 / 0.61.01.067.5 » +225002.5 - 3.00.61.0 - 1.21.087.5»

38、; +225001.8 - 2.00.61.2 - 1.51.0107.5» +225001.5 - 1.80.61.2 - 1.51.0127.5» +2.525001.2 - 1.50.61.51.0157.5» +325001.0 - 1.20.62.01.0207.5» +3.525000.6 - 0.70.62.0 - 2.41.5表 9: DC 030不锈钢切割参数材料厚度mm焦距inch焦点位mm激光器功率W切割速度m/min气体压强N2bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15-0.5300028101.50.525-130008101.50.535-230004.75151.50.547.5-330003.817.520.757.5-430002.22020.7610-530002202.20.7812.5/15-630001.32030.71015-630000.552030.7表10: DC 030低碳钢切割参数材料厚度mm焦距inch焦点位置mm激光器功率 W切割速度m/min气体压强O2bar喷嘴直径Æ mm喷嘴距板面距离mm15075093.510.525-0.5800731135-0.5800431147