半导体厂GAS系统基础知识

1、文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编辑欢迎下载支持.GAS系统基础知识概述HOOK-UP专业认知、 厂务系统HOOK up定义HOOK UP乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到 预期的功能oHOOK UP是将厂务提供的UTILITIES （如 水, 电，气，化学品等），经由预留之UTILITIES连接点（PORT OR STICK）,藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备 （SUBUNITS）o机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并 将机台使用后，所产生之可回收水或废弃物（如废水，废气等），经 由管路连接至系统预留接点，再传送到厂务回收系统或废水废气

2、处理系统。HOOKUP项目主要包括：CAD,MOVEIN ,CORE DRILL , SEISMIC , VACUU , GAS , CHEMICAL , D，PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.二、 GAS HOOK-UP专业知识的基本认识在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up （配管衔接）以Buck Gas（一般性气体如 CDA、GN2、PN2、P02、PHE、PAR、H2 等） 而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至 次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1 Hook-up),自 Take

3、Off 出口点至机台(Tool)或设备(Equipment) 的入口点，谓之二次配(SP2 Hook-up) o以Specialty Gas (特殊 性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体)而言其 供气源为气柜(Gas Cabinet)o自G/C出口点至VMB (Valve Mainfold Box.多功能阀箱)或 VMP (Valve Mainfold Panel 多功 能阀盘)之一次测(Primary)入口点，称为一次配(SP1 Hook-up), 由VMB或V MP Stick之二次侧(Secondary)出口点至机台入口 点谓之二次配(SP2 Hook-up)o7word版本

4、可编辑欢迎下载支持.GAS简单知识基本掌握第一章气体概述由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体，一般我们皆依气体 特性来区分，可分为一般气体(BULKGAS)与特殊气体(SPECIALTY GAS)两大类。前者为使用量较大之气体，如N2、CDA等，因用量较大，一般气体常以大宗气 体称之。后者为使用量较小之气体一般指用量小，极少用量便会对人体造成生命威胁 的气体，如SiH4、NF3等1.1 Bulk Gas 介绍半导体厂所使用的大宗气体，一般有：CDA、GN2、PN2、PAr、P02、PH2、PHe 等七种。1. 大宗气体的制造：CDA / IA (Clean Dry Air / I

5、nstrument Air):CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及 炭氢化合物以供给无尘室CDA/IA (Clean Dry Air) oGN2 (Nitrogen):利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经过触媒转化器，将CO反应成C02,将H2 反应成H20,再山分子筛吸附C02、H20,再经分溜分离02 & CnHm。N2二-195. 6C, 02=-183CoPN2 (Nitrogen):将GN2经由纯化器(Purifier)纯化处理，产生高纯度的氮气。一般液态氮气纯度约为99. 9999%,含小数点后共6个9。经纯化器纯化过的氮气纯度约为99. 99

6、99999%,含小数点后共9个9。P02 (Oxygen):利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0%以上纯度之氧，再 除去2、Ar. CnHm。另外可由水电解方式解离H2 & 02,产品液化后易于运送储 存。PAr (Argon):利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0%以上纯度之氨气， 因氨气在空气中含量仅0. 93%,生产成本相对较高。PH2 (Hydrogen):利用圧缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0%以上纯度之氢气。 另外可山水电解方式解离H2 & 02,制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易 于运送储存。PHe (Helium)：

7、山稀有富含氨气之天然气中提炼，其主要产地为美国及俄罗斯。利用压缩机圧缩冷 却气体成液态气体，易由分溜获得。Helium 二-268. 9 C, Me thane 二-161. 4 C。2. 大宗气体在半导体厂的用途：CDA：CDA主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge), Local Scrubber助燃。 IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。N2：主要供给部分气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压 力来源。02：供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用，供给03 Generator文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编借.欢迎

8、下载支持. 所需之氧气供应及其它制程所需。Ar：供给Sputter制程，离子溅镀热传导介质，Chamber稀释及惰性气体环境。H2：供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，POLY制程中做H2 BAKE之用，W-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其它制程所需。He：供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。3. BULKGAS的供应系统Methods:GASTYPProduced on-siteStorage tankContainerTrailerBundleCompress orCDA-oN2oo-02oo-Ar-o-H2o-ooO-He-ooO-Bulk Gas Supply S/stem be

9、forezab#word版本可编辑.欢迎下载支持.文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编辑欢迎下载支持.11word版本可编辑欢迎下载支持.Bulk Gas SvsteinFiirifier二八v aporizerBefore PilterHrifiecPure Gas to FabAfter FinerGeneral Gas to FabBulk Gas Supply System in Fab1F Purifier Room仆純化室Purifier纯化器2F SubFab2F次潔淨室3F Clean Room3F潔淨室Sub-Main次主管Tools机台大宗气体(BULK GAS

10、)虽然不像特殊气体(SPECIALITY GAS),有的具有强烈 的毒性、腐蚀性。但是我们使用大宗气体时，仍然要注意安全。GN2、PN2、PAr、 PHe具有窒息性的危险，这些气体无臭、无色、无味，如大量泄出而相对致空气 中含氧量(一般为21%)减少至16%以下时，即有头痛与恶心现象。当氧气含量 少至10%时，将使人陷入意识不清状态，6%以下瞬间昏倒，无法呼吸，6分钟以 内即死亡。PH2因泄漏或混入时，其本身之浓度只要在H2之爆炸范围(4%-75%) 内(如对空气)，只要一有火源，此气体乃会因相混而燃烧。PO2会使物质易于氧 化产生燃烧，造成火灾的不幸事件。因此，身在半导体工厂工作的我们，在设

11、计上、 施工中，如何避免泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。1.2特殊气体特性及系统简介半导体厂所使用的特殊气体种类繁多，约有四五十种，依危险性可区分为以下 数类：易燃性气体Flammable Gas*毒性气体Toxic Gas腐蚀性气体Corrosive Gas*低压性/保温气体Heat Gas*惰性气体Inert GasL特殊气体特性简介*易燃性气体:燃点低，一泄漏与其他气体相混,便易引起爆炸及燃烧如SIH4 , PH3 , H2 ,*毒性气体:反应性极强，强烈危害人体功能，如co, NO.CLF3，.*腐蚀性气体:易与水份起反应而产生酸性物质,有刺鼻，腐蚀，破坏人体 的危险性如NH3

12、, SIF4,CL2,.低丿代性/保温气体:属粘稠性 液态气体，需包加热线及保温棉，将管内的温度升高以使其气化,才能充分供应 气体，如WF6, BCL3 , DCS,.*惰性气体:乂称窒息性气体，当泄漏出的量 使空气中含氧量减少至16%6%以下时，便会影响人体，甚至死亡，如SF6,C4F8 , N2O，.Z供应系统简介* GC (Gas Cabinet) 气瓶柜*GR (Gas Rack)气瓶架* BSGS System (Bulk Sepcial gas supply system)特殊气体大量供应系统* Y-Cylinder, Bundle 集束钢瓶* Trailer 槽车* VDB 主阀

13、箱 /VDP 主阀盘(Valve Distribution Box/Panel)* VMB 阀箱 /VMP 阀盘 (Valve Manifold Box/Panel)Specialty Gas Supply SystemSpecialty Gas SystemSpecialty Gas Supply System- Equipment in every floor文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编借.欢迎下载支持.1F Gas Room3F Clean Room仆氣器房2F次潔淨室G/C气瓶柜回VMB/VMP3F次潔淨室Tools机台1 lword版本可编辑欢迎下载支持.我们不排

14、除这些气体会对我们有不良影响。身在半导体工厂的我们，在设计上、 施工中，如何避免泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。第二章一次配管和二次配管半导体厂的气体管路，我们一般区分为一次配管（SP1）及二次配管（SP2, 乂称 Hookup）。SP1:为山气体的起始流出点（Gas yard/Gas cabinet）至无尘室中的Take off Valve 或 VMB （Valve manifold box） /VMP （Valve manifold panel）SP2：为由Take off Valve或VMB/VMP开始至生产机台设备处为止 （Hookup）o 所使用管材以 1/4”、3/8”、1

15、/2”、3/4”为主。Piping之设计应配合气体类型考量，一般分为Bulk Gas及Speciality Gas两 大类。2.1 Material 介绍了解半导体气体工程的配管，和管路设计，必须先了解材料（Material）2.1.1材料区分：1. TUBE & PIPE （管件）2. FITTINGS （配件）3. VALVE （阀件）4. REGULATOR （调压阀）5. CHECK VALVE （逆止阀）6. FILTER （过滤器）7. VACUUM GENERATOR （真空产生器）8. 其他2.1.2选料依据：气体种类，气体特性*影响材料使用的等级-AP/BA/EP/V+V/.

16、业主需求及预算円有无指定厂牌或规格依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸*影响材料使用的尺寸-%”/%”/15A/ 依机台所需压力及流量不同选择材料型式*选用压力范围适合或流量符合之阀件视盘面组装选择料件接头型式* VCR / SWG / Welding / Flange.2.1.3 TUBE & PIPE 管件：1 定义:* Pipe :,以公称内径配合壁厚作为量度之尺寸.* Tube :以外径(OD)及壁厚作为量度之尺寸.规格:6M/stick or 4M/stick or 100M/roll2.常用材质;SS304 /SS304L &SS316 / SS316L & VIM+VAR & H

17、C-22.3.表面处理等级:BA - Bright Anneal 表面研磨EP - Electro Polish表面研磨+电解研磨4.等级:* Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等级* Specialty Gas :易燃性/惰性气体-316LEP毒性- 双套管(304AP + 316LEP) / 单管 316LEP腐蚀性 气体-VIM +VAR低压性气体-316L EP + Heater Line + Warm Cover2.1.4 FITTINGS 配件：.材质同管件2.常用种类：a. Nut + Gland + Gasketb. Elbow,Tee,Reduc

18、erc. Cap,Plugd. Conn ectore. others.文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编辑欢迎下载支持.3.型式及规格：一般可分为 VCR / SWG / WELDING /螺牙接头/FLANGE尺寸从 1/8“1”(VCR/SWG)及 1/4“300A(WELD/FLANGE)皆有， 乂分 短接头 SCM (micro) or 长接头 SCL(long) & SCF (以 Kitz 作说明):Product Name Size Size for other side TypeSpecificationMaterialSCM40EEPLESCM：表示BANKEN

19、公司对FITTING的分类，是属于短接头型式。4：表示尺寸为1/4”。0：表示另一端尺寸同前，为1/4”。E：表示此料件型式为ELBOWoEP：表示料件表面处理等极为EP。LE：表示此料件为VIM+VAR等级的EP4.常用厂牌：KITZ / HAM丄ET / IHARA/SWAGELOK /FUJIKIN.-5.另外大部分FITTING 乂分为三种不同规格， 分别为一般Type； Union Type及Reducing Type。一般型即为平时所见之焊接型 式，Union型为对接型式（即直接以GLAND+NUT锁紧），Reducing型类似一般 型，唯其两端（三端）尺寸不同。一般组盘所用接头有

20、两种，分别为VCR及SWG,其中VCR需锁紧1/8圈， SWG需锁紧1 1/4圈（1/4”以下需锁紧3/4圈），方能有效锁紧。大部分的气体使用之GASKET为Ni材质，CO对Ni具侵蚀性* CO & 03- Gasket must be SUS.。2.1.5 VALVE 阀件：.材质同管件2.常用种类：* 手动阀(Manual Valve )a. Ball Valve 球阀b. Bellows Valve 波纹管阀c. Diaphragm Valve 膜片阀 InTi欄气动阀(Air Valve )HUI ui逆止阀(Check Valve) CHECKVALVE选取主要依据其尺寸及两端 接头

21、型式决定。Cracking Pressure为Check Valve使气体通过之最小压力。通常 选用3 psig以下之型式。NH3必需使用特殊之Check Valve, * NH3 - Checkvalve must be AFLAS type.o*其他3.常用厂牌:KITZ / OHNO / IHARA/ MOTOYAMA / NUPRO.-4.备注:*高压阀/低压阀-依使用场所不同来选择*两通阀/三通阀/四通阀/.：依需求来选择,注意流向选择2.1.6 REGULATOR 调压阀：.材质同管件2. Seat 材质：PCTFE , SS316L, Kel-F81. Bulk Gas 一般使用

22、 316LBA 或 316LEP 等级 /VCR 或 SWG1/4 - R25 系列引8” - R35系列1/2 - RH1 系列* Specialty Gas :毒性/易燃性/惰性气体-316LEP - L25 or R25系列 N2O - Seat material must be Vespel.3.常用种类：円高压/低压/ 一般压力* 2P无表头/3Por4P单表头或双表头* VCR / SWG / Flange4. REGULATOR -般分高压与低压选取，但尚有高流量型式可供选取，另外可依 表头（Gauge）需求加以搭配。（以KITZ为例）17word版本可编借欢迎下载支持.文档从网

23、络中收集，已重新整理排版word版本可编辑欢迎下载支持.腐蚀性气体-VIM + VAR - L25SVA系列低压性气体-需选择可调负汗的type - L96SSA系列(3(THg030 psi)2.1.7 about Pressure Gauge & Transducer1.常用种类区别：* Pressure Gauge ( PG )压力表头,指针式，C122Digital Pressure Gauge ( PID )电子式压力表头IJ c TIiPressure Transducer ( PT )压力传送器文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编辑欢迎下载支持.2.使用于：盘面及管路

24、上3.压力范围大致可分为：* 高压(0-3000 psi)* 低压(-30”Hg030 psi)(-30”Hg0160 psi)- 4.常用电源：24V DC , 4-20 mA DC2.1.8 FILTER 过滤器：1.功能：过滤气体中的微粒子(Particle)2.过滤等级选择,即滤径尺寸(particle size),可分为:21word版本可编借欢迎下载支持.过滤效防漏性抓取率抗腐蚀效PTFE (F)好不好10.8N/ASS316L很好好6.2很差很好很好10.8好2.1.9 VACUUM GENERATOR 真空产生器：装于 G/C/G/R/VMB/VMP 作为 Vent 抽气使用

25、VACUUM GENERATOR 的选取主要在于其接头的尺寸及型式。.1.旦GN2in %”2.1.10 其他：（1）M气:纯度99.999以上，每个钢瓶6立方公尺或7立方公尺，通常一瓶每组可使用23天。（2）C型钢：制作支撑架用，有高低脚、双并、有孔等型式。（3）电工管夹：将管材固定于C型钢上，最大可使用至5/8”之管子。（4）管束：分单立、双立、P型等型式，固定管子用。（5）牙条：吊挂、固定型钢用。（6）型钢垫片：配合牙条、吊挂型钢用。（7）弹簧螺帽：置于型钢槽内，锁螺丝或牙条用。符号认识：1A吨匸TVAT3A城期黏閻1申IS处磁飢谏.1$初8牌打!朋黏吊仕fii觀仲謂茁谐闔2ANGZLU

26、AiyE 炉閑)适岀口辰卅之锄聞3EhLLUALUE (球閻|溢基曉N乎媲肿英內刚一球狀結構4才匚睚KWL惦逆止閩|用來防止仙逊2師5AMW HIM L W LVE掰丼咖咖闖肘1M趣閉2剧幅 伽锄闕6可遇utrfls中一坯徵&子蛙迁上叨ts刖満的邀购盪律度7PJ3W5WJR曲.量舷跆用撚扫遇诚中的能*：刘卜之子式惟遇船8VLtjm ETEr C-iJt-4a+用砒诺a就中酊能量犬小换檢式計量弱96XG33 H.CP-3CH3OR dffiitJtfiWS)用來防止恤中NSdt理然環在之闖件出范量量侯然柚舵設冠值徴昭逾旳瞅10HraiLLVAD/EI；4-HS|甦范dt之册菸财吠小可自由 甦胆科

27、 沆封wran11)(oracj （j畸炷r邀尿1倂5何就n徵n的庇岀出口出谢曲刑删要心12PVRA&時毀跆PEUIP1HR可輕如1胶應出施离恤中度13PRE列代3脛遲力計）划冋爾示壓力密值业非很率圧14皿殆別J汁 TOgbUCW： CEZffiSS)將垦力am励 15*120 mA址1 踽斂盛顯弼刑之用15RRjvwToR taaesh用卿Fff苗中16LC踏（钿放在加.熬2甌下瑕了墀碗中是否；加117VdCUbM CCHGRd(V0 (培i蚩生躅和用站压極制淌中残田的泌魅予抽出18SAPCBGLUPVALMi (宏金感閩|恤中旬蜃力期翻沖設诞值後恤中術博.將由出蹦19WL瘀日UTTEk翻浙

28、J?擁念狀测黑劉W閉碗畑诲20tjfflTWO 3花za儿E（g號量帥0勘閩件阳閱辭持齣1量持礦供虫.関硏貝正常加量21GA 3KET PUTER您片观1瀏可遇H酋宙中一坯微艶丑血I：上叨ts刖満白皿购盪爾ST220hEEEkEHkTL ME命处G SWITCH23b EEEKCU h TL ME律处 C GdlJGCCttEH)用0幢iK步it訥取外岡如24SVSOLThniD也吨（巳闕）文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编借.欢迎下载支持.2.2 一次配管2.2 一次配管（SPI）2.2.1 BULK GAS SPI名词：MAIN主管SUB MAIN副主管TAKE OFF VA

29、LVE 一次配与二次配连接的阀ISOLATION VALVE 隔离阀BOTTOM VALVE 末端阀1 SCOPESP1：为山气体的起始流出点（Gas yard）至无尘室中的Take off Valve2管路形式Bulk Gas在Sub Fab中的供应系统按其形状可以分为 鱼骨式和回路式两种。鱼骨式：MAIN和Sub Main以鱼骨的形状分布25 word版本可编辑欢迎下载支持.7VMM* TLT T T T T T T T TRcjgT T T T T T 7 TrticNjsTTTT77TTTK:回路式:MAIN和Sub Main构成回路形式0.这两种BULK GAS的供应形式各有自己的优

30、缺点，鱼骨式成本比较低，但是III 于气体在Sub Main但方向供应的距离比较长，容易产生较大的压降，末端部分的 TAKE OFF VALVE容易产生压力不足的情况；回路式使用MAIN从两端向SUB MAIN供气的方式，很大程度上降低了压降带来的不良影响，但是由于延长了 MAIN的长度，成本比较高。实际上，不管鱼骨式还是回路式，通过科学的讣算，选择适当的压力和管径, 都可以满足厂务的需求，选择哪种方式，主要看业主的需要和选择。3阀件的选择该图为各种阀件在供应系统中的应用位置Isolation汝选择的依据：阀的类型：根据气体的种类Purge Port：根据管路焊接时Ar Purge (防止管路

31、内部焊道氧化)的需求各位置阀的选择Isolation Valve (On Main /Submain)Welding with 2 purge portBottom Valve (On Main /Submain)Welding with 2 purge portTake off Valve3/4” ,15A or larger Size: use welding with outlet purge port valve1/2M or smaller size: use inlet welding outlet VCR(SWG) with No port valveWe alse can ch

32、oose VCR(SWG) valve as take off vale with no purge port following supplying status文档从网络中收集，已重新整理排版word版本可编辑欢迎下载支持.2.2.2 SPECIALTY GAS SPI名词：GCGas Cabinet 气瓶柜GRGas Rack 气瓶架VMBValve Manifold BoxVMPValve Manifold PanelVDBValve Distribution BoxVDPValve Distribution Panel1 SCOPE为山气体的起始流出点(GC/R)至无尘室中的VMB/

33、P2气体设备的设计设计流程介绍：1. 客户提出需求2. 设计建议案提出：a) Key-Point Introductionb) Flow Sheet Drawingc) Material Qty List3箱体，盘面发包组立：a) Material Chosenb) Panel Layout Drawingc) Box Struct DrawingGas Cabinet / Gas Rack 设计：1 功能设计可分为 单钢/双钢(2 Process ”三钢(2 Process + 1 N2)气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢、双钢、三钢。单钢的设计 通常使用于研究机构或实验室等。制程尚

34、未有量产，气体使用量小，现场可随时协 调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以 免中断制程造成损失。双钢与三钢常用于量产工厂，制程不允许停机情况，当一支 钢瓶使用完后，另一支钢瓶stand by会自动转为供气，此两种形式最大的差别是 在purge管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供应，当purge用的PN2统一山厂务 端来供应时，所有特殊气体供应系统不管是否相容，全部连接到同一个供应源，会 有较高的风险值；万一中央供应系统的PN2中断，警报系统乂损坏，恰巧两种不 相容的气体同时使用purge,此时极有可能发生爆炸的事件发生，相同性质可使用 同一瓶钢瓶来purge增加

35、的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。三钢 气柜成本不会差很多安全性会是最好的，只要空间允许应最优先选择。2. 操作性设计：一般气瓶柜都设汁有两个特殊气体钢瓶，需自动切换的功能以达到连续供应 不断气的LI的，气态气体通常以压力感应器来计算钢瓶的剩余量，若是液态蒸气压 气体则以电子磅秤来侦测剩余量，当一瓶用完时会切换到另一瓶。操作上一般可分 为全自动、半自动、手动三种方式通常换钢瓶时会执行下列儿种Purge：(a) Pre-purge(换钢瓶前)首先将钢瓶阀关闭，测试是否有关紧，用真空产生器将特殊气体抽出，再用 PN2来稀释管壁内的特殊气体，重复执行充吹的动作将管壁内的特殊气体稀释干 净

36、，此时即可更换钢瓶。(b) Post-purge(换钢瓶后)通常以PN2来进行保压测试，测试钢瓶接头是否衔接良好，再利用PN2重 复执行充吹的动作来将钢瓶接头清洁干净。(c) Process purge(用特殊气体)直接用特殊气体来Purge管壁，主要的LI的是要将PN2完全的清除让供气 的品质更好，不会因更换钢瓶而供应品质受到影响。(d) Hi pressure leak test(高压测漏)通常高压燃烧性气体会建议使用高压测漏，因为经过高压测漏更能确保钢 瓶接头衔接没问题。一般钢瓶更换时机大约是剩余10%的残留量，但实际上应以制程的需求来决 定，这样才会得到最佳的更换时间。再者，钢瓶都有使

37、用期限，操过使用期限因为 部分特殊气体会对钢瓶造成为腐蚀，污染气源。为到达上述1-4项的功能，其管件的设计就会比较复杂，建议顾客尽量使用 自动的供应系统，若使用手动的方式进行，人员操作需要非常的小心谨慎，只要任 何一项步骤有疏失极可能影响供应的品质，严重时有可能造成人员伤亡。即使是气 瓶架也应该采用自动的供应系统，虽然没危险性，人员操作不当极有可能造成污染, 毕竟要人员重复动作可能儿十次，不但需要耗很多的时间，人员也要集中很多精神 来执行，风险等级也相对提高。3. 气瓶柜管路设计：认识气瓶柜盘面上的一些设计，以下逐一介绍盘面上重要主件：1. 气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不建议使用CDA

38、,因GN2的供应系统 比较稳定，不会因停电或运转设备故障而中断，此气源是用于自动或半自动的 气动阀件开关。2. 手动控制阀：主要用于第二到防护作为第二次确认用，一般于供应气体的出口 端。3. 逆止阀：防止特气倒灌到清洁用的PN2系统和抽气用的GN2系统。4. 调压阀：用于调整供应系统的供应压力。5. 压力传送器：是防护系统中非常重要的零件，透过它我们可以判断管路是否泄 漏，相关阀件是否正常开关，同时亦可检知钢瓶的剩余量。6. 真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力，将管路中的气体抽出，以到达抽气 的目的。7. 气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器，在出端会装比较细的过 滤器，有效过滤

39、气体中的粒子，过滤器较不易purge所以一般不建议装在常 purge的管路中。8. 过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测，若是操过设定值，即判断管路上可 能大量泄漏，进而关闭供应系统停止供气。9限流孔：是一种简易乂有效的过流量控制装置，用以限制大量气体流过，一般 使用于vent处，其主要功用大量的特殊气体排出，区域性的废气处理机无法处 理的情况发生。气瓶柜在管路设计上应该特别注意的事项如下：1. 不相容的气体purge管路不可相连在一起。2. 不相容的气体不能装在同一个气瓶柜内，即使各自独立的供应系统也严重禁止。29word版本可编借欢迎下载支持.3. 管路大小应依实际制程所需的压力流量来设计

40、。4. 钢瓶接头型号应事先山业主告知我们以免有接头无法接上的问题。5. 小钢瓶会使用可调整的支撑架。6阀件材质应依气体特性来选择。7.如有考虑扩充性可在出口端加装一个预留扩充阀。4安全防护设施：气瓶柜防护设计，包括外箱的防火与防爆设计、抽风孔、火焰侦测器、消防洒 水头、毒气侦测器、紧急遮断开关、过流量侦测器、温度侦测器、烟雾侦测器、vent 限流孔、远端遮断等。其中消防洒水头在气瓶柜内的温度操过65C时，玻璃会自 动破裂洒水，但要注意有些腐蚀性气体会与水产生强烈反映，建议不安装消防洒水 头。在气体房内也需装烟雾侦测器及洒水头，以防止气瓶柜以外的地方有火灾，所 有系统应该与中央监控系统连线，并与广播系统连线，一有警报立即疏散相关人员， 由厂区紧急应变小组来进行处理，以免发生危险。这些相关防护设备在规划时应特别考虑其摆放位置及其实用，如紧急遮断按钮 除气柜上需要外，在气体房外或中央监控系统亦需架设，避免气体外泄人员无法进 入关闭源头的钢瓶；此外警报警示灯与警报声响亦需在气体房外面明显的位置架 设，以利人员紧急处理时的识别，并规划相关防护器具，如更换钢瓶时所使用的空 气面罩。为防止地震会在气瓶柜的底部打上膨胀螺丝固定，使其在地震时不至于位移， 地震仪的安装