材料表征方法.ppt

纳米材料的测试与表征 朱永法清华大学化学系zhuyf 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 2 前言 纳米材料分析的特点纳米材料的成份分析纳米材料的结构分析纳米材料的粒度分析纳米材料的形貌分析纳米材料的界面分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 3 纳米材料分析的特点 纳米材料具有许多优良的特性诸如高比表面 高电导 高硬度 高磁化率等 纳米科学和技术是在纳米尺度上 0 1nm 100nm之间 研究物质 包括原子 分子 的特性和相互作用 并且利用这些特性的多学科的高科技 纳米科学大体包括纳米电子学 纳米机械学 纳米材料学 纳米生物学 纳米光学 纳米化学等领域 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 4 纳米材料分析的意义 纳米技术与纳米材料属于高技术领域 许多研究人员及相关人员对纳米材料还不是很熟悉 尤其是对如何分析和表征纳米材料 获得纳米材料的一些特征信息 主要从纳米材料的成份分析 形貌分析 粒度分析 结构分析以及表面界面分析等几个方面进行了简单的介绍 力图通过纳米材料的研究案例来说明这些现代技术和分析方法在纳米材料表征上的具体应用 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 5 纳米材料的成份分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 6 成分分析的重要性 纳米材料的光电声热磁等物理性能与组成纳米材料的化学成分和结构具有密切关系 TiO2纳米光催化剂掺杂C N例子说明纳米发光材料中的杂质种类和浓度还可能对发光器件的性能产生影响据报 如通过在ZnS中掺杂不同的离子可调节在可见区域的各种颜色因此确定纳米材料的元素组成测定纳米材料中杂质的种类和浓度是纳米材料分析的重要内容之一 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 7 图1不同结构的CdSe1 XTeX量子点的结构和光谱性质示意图1核壳结构的CdTe CdSe量子点2核壳结构的CdSe CdTe量子点3均相结构的CdSe1 XTeX量子点4梯度结构的CdSe1 XTeX量子点上述四种量子点的平均直径为5 9nm组成为CdSe0 6Te0 4 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 8 成分分析类型和范围 纳米材料成分分析按照分析对象和要求可以分为微量样品分析和痕量成分分析两种类型 纳米材料的成分分析方法按照分析的目的不同又分为体相元素成分分析表面成分分析和微区成分分析等方法 为达此目的纳米材料成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析质谱分析和能谱分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 9 纳米材料成份分析种类 光谱分析主要包括火焰和电热原子吸收光谱AAS 电感耦合等离子体原子发射光谱ICP OES X 射线荧光光谱XFS和X 射线衍射光谱分析法XRD 质谱分析主要包括电感耦合等离子体质谱ICP MS和飞行时间二次离子质谱法TOF SIMS能谱分析主要包括X射线光电子能谱XPS和俄歇电子能谱法AES 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 10 体相成分分析方法 纳米材料的体相元素组成及其杂质成分的分析方法包括原子吸收原子发射ICP 质谱以及X射线荧光与衍射分析方法 其中前三种分析方法需要对样品进行溶解后再进行测定 因此属于破坏性样品分析方法 而X射线荧光与衍射分析方法可以直接对固体样品进行测定因此又称为非破坏性元素分析方法 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 11 原子吸收分析特点 根据蒸气相中被测元素的基态原子对其原子共振辐射的吸收强度来测定试样中被测元素的含量 适合对纳米材料中痕量金属杂质离子进行定量测定 检测限低 ng cm3 10 10 10 14g测量准确度很高 1 3 5 选择性好 不需要进行分离检测分析元素范围广 70多种难熔性元素 稀土元素和非金属元素 不能同时进行多元素分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 12 电感耦合等离子体发射光谱法ICP ICP是利用电感耦合等离子体作为激发源 根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的方法 可进行多元素同时分析 适合近70种元素的分析 很低的检测限 一般可达到10 1 10 5 g cm 3稳定性很好 精密度很高 相对偏差在1 以内 定量分析效果好 线性范围可达4 6个数量级对非金属元素的检测灵敏度低 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 13 电感耦合等离子体质谱法 ICP MS是利用电感耦合等离子体作为离子源的一种元素质谱分析方法 该离子源产生的样品离子经质谱的质量分析器和检测器后得到质谱 检出限低 多数元素检出限为ppb ppt级 线性范围宽 可达7个数量级 分析速度快 1分钟可获得70种元素的结果 谱图干扰少 原子量相差1可以分离 能进行同位素分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 14 X 射线荧光光谱分析法 是一种非破坏性的分析方法 可对固体样品直接测定 在纳米材料成分分析中具有较大的优点 X射线荧光光谱仪有两种基本类型波长色散型和能量色散型 具有较好的定性分析能力 可以分析原子序数大于3的所有元素 本低强度低 分析灵敏度高 其检测限达到10 5 10 9g g 或g cm3 几个纳米到几十微米的薄膜厚度测定 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 15 表面与微区成份分析 X射线光电子能谱 10微米 表面 俄歇电子能谱 6nm 表面 二次离子质谱 微米 表面 电子探针分析方法 0 5微米 体相 电镜的能谱分析 1微米 体相 电镜的电子能量损失谱分析 0 5nm 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 16 电子探针分析方法 电子束与物质的相互作用也可以产生特征的X 射线根据X 射线的波长和强度进行分析的方法称为电子探针分析法 微区分析能力 1微米量级分析准确度高 优于2 分析灵敏度高 达到10 15g 100PPM 1 样品的无损性 多元素同时检测性可以进行选区分析电子探针分析对轻元素很不利 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 17 电镜 能谱分析方法 利用电镜的电子束与固体微区作用产生的X射线进行能谱分析 EDAX 与电子显微镜结合 SEM TEM 可进行微区成份分析 定性和定量分析 一次全分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 18 纳米成份分析案例 ICP OES研究CdSe纳米粒子的组成CdSe在复合纳米粒子中所占比例为87 8 其他12 2 可能为包覆在CdSe表面的有机修饰层 红外光谱研究发现了季铵化吡啶环的特征吸收峰 包覆巯基乙酸的CdSe在1390cm 1的吸收峰移动到1377cm 1处 说明通过静电作用实现了乙烯基吡啶季铵盐PVPNI与包覆巯基乙酸的CdSe两者的有效复合 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 19 纳米粒子ICP MS直接测定 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 20 纳米材料的粒度分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 21 粒度分析的概念 对于纳米材料 其颗粒大小和形状对材料的性能起着决定性的作用 因此 对纳米材料的颗粒大小和形状的表征和控制具有重要的意义 一般固体材料颗粒大小可以用颗粒粒度概念来描述 但由于颗粒形状的复杂性 一般很难直接用一个尺度来描述一个颗粒大小 因此 在粒度大小的描述过程中广泛采用等效粒度的概念 对于不同原理的粒度分析仪器 所依据的测量原理不同 其颗粒特性也不相同 只能进行等效对比 不能进行横向直接对比 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 22 粒度分析的种类和适用范围 显微镜法 Microscopy SEM TEM 1nm 5 范围 适合纳米材料的粒度大小和形貌分析 沉降法 SedimentationSizeAnalysis 沉降法的原理是基于颗粒在悬浮体系时 颗粒本身重力 或所受离心力 所受浮力和黏滞阻力三者平衡 并且黏滞力服从斯托克斯定律来实施测定的 此时颗粒在悬浮体系中以恒定速度沉降 且沉降速度与粒度大小的平方成正比 10nm 20 的颗粒 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 23 光散射法 LightScattering 激光衍射式粒度仪仅对粒度在5 以上的样品分析较准确 而动态光散射粒度仪则对粒度在5 以下的纳米样品分析准确 激光光散射法可以测量20nm 3500 的粒度分布 获得的是等效球体积分布 测量准确 速度快 代表性强 重复性好 适合混合物料的测量 利用光子相干光谱方法可以测量1nm 3000nm范围的粒度分布 特别适合超细纳米材料的粒度分析研究 测量体积分布 准确性高 测量速度快 动态范围宽 可以研究分散体系的稳定性 其缺点是不适用于粒度分布宽的样品测定 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 24 光散射粒度测试方法的特点 测量范围广 现在最先进的激光光散射粒度测试仪可以测量1nm 3000 基本满足了超细粉体技术的要求 测定速度快 自动化程度高 操作简单 一般只需1 1 5min 测量准确 重现性好 可以获得粒度分布 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 25 激光相干光谱粒度分析法 通过光子相关光谱 PCS 法 可以测量粒子的迁移速率 而液体中的纳米颗粒以布朗运动为主 其运动速度取决于粒径 温度和粘度等因素 在恒定的温度和粘度条件下 通过光子相关光谱 PCS 法测定颗粒的迁移速率就可以获得相应的颗粒粒度分布光子相关光谱 技术能够测量粒度度为纳米量级的悬浮物粒子 它在纳米材料 生物工程 药物学以及微生物领域有广泛的应用前景 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 26 电镜法粒度分析 优点是可以提供颗粒大小 分布以及形状的数据 此外 一般测量颗粒的大小可以从1纳米到几个微米数量级 并且给的是颗粒图像的直观数据 容易理解 但其缺点是样品制备过程会对结果产生严重影响 如样品制备的分散性 直接会影响电镜观察质量和分析结果 电镜取样量少 会产生取样过程的非代表性 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 27 适合电镜法粒度分析的仪器主要有扫描电镜和透射电镜 普通扫描电镜的颗粒分辨率一般在6nm左右 场发射扫描电镜的分辨率可以达到0 5nm 扫描电镜对纳米粉体样品可以进行溶液分散法制样 也可以直接进行干粉制样 对样品制备的要求比较低 但由于电镜对样品有求有一定的导电性能 因此 对于非导电性样品需要进行表面蒸镀导电层如表面蒸金 蒸碳等 一般颗粒在10纳米以下的样品比较不能蒸金 因为金颗粒的大小在8纳米左右 会产生干扰的 应采取蒸碳方式 扫描电镜有很大的扫描范围 原则上从1nm到mm量级均可以用扫描电镜进行粒度分析 而对于透射电镜 由于需要电子束透过样品 因此 适用的粒度分析范围在1 300nm之间 对于电镜法粒度分析还可以和电镜的其他技术连用 可以实现对颗粒成份和晶体结构的测定 这是其他粒度分析法不能实现的 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 28 粒度分析应用 高分子纳米微球研究 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 29 光催化剂的分散状态 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 30 水解聚丙烯酰胺溶液的粒度分布图 图9光子相关光谱技术示意图 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 31 纳米材料的结构分析 不仅纳米材料的成份和形貌对其性能有重要影响 纳米材料的物相结构和晶体结构对材料的性能也有着重要的作用 目前 常用的物相分析方法有X射线衍射分析 激光拉曼分析以及微区电子衍射分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 32 X射线衍射结构分析 XRD物相分析是基于多晶样品对X射线的衍射效应 对样品中各组分的存在形态进行分析 测定结晶情况 晶相 晶体结构及成键状态等等 可以确定各种晶态组分的结构和含量 灵敏度较低 一般只能测定样品中含量在1 以上的物相 同时 定量测定的准确度也不高 一般在1 的数量级 XRD物相分析所需样品量大 0 1g 才能得到比较准确的结果 对非晶样品不能分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 33 样品制备 样品的颗粒度对X射线的衍射强度以及重现性有很大的影响 一般样品的颗粒越大 则参与衍射的晶粒数就越少 并还会产生初级消光效应 使得强度的重现性较差 要求粉体样品的颗粒度大小在0 1 10 m范围 此外 当吸收系数大的样品 参加衍射的晶粒数减少 也会使重现性变差 因此在选择参比物质时 尽可能选择结晶完好 晶粒小于5 m 吸收系数小的样品 一般可以采用压片 胶带粘以及石蜡分散的方法进行制样 由于X射线的吸收与其质量密度有关 因此要求样品制备均匀 否则会严重影响定量结果的重现性 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 34 X射线衍射分析 XRD物相定性分析物相定量分析晶粒大小的测定原理介孔结构测定 多层膜分析物质状态鉴别 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 35 晶粒大小的测定原理 用XRD测量纳米材料晶粒大小的原理是基于衍射线的宽度与材料晶粒大小有关这一现象 利用XRD测定晶粒度的大小是有一定的限制条件的 一般当晶粒大于100nm以上 其衍射峰的宽度随晶粒大小的变化就不敏感了 而当晶粒小于10nm时 其衍射峰随晶粒尺寸的变小而显著宽化 试样中晶粒大小可采用Scherrer公式进行计算 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 36 是入射X射线的波长 是衍射hkl的布拉格角 hkl是衍射hkl的半峰宽 单位为弧度 使用Scherror公式测定晶粒度大小的适用范围是5nm 300nm 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 37 小角X射线衍射测定介孔结构 小角度的X射线衍射峰可以用来研究纳米介孔材料的介孔结构 这是目前测定纳米介孔材料结构最有效的方法之一 由于介孔材料可以形成很规整的孔 所以可以把它看做周期性结构 样品在小角区的衍射峰反映了孔洞周期的大小 对于孔排列不规整的介孔材料 此方法不能获得其孔经周期的信息 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 38 多层膜的研究 在纳米多层膜材料中 两薄膜层材料反复重叠 形成调制界面 当X射线入射时 周期良好的调制界面会与平行于薄膜表面的晶面一样 在满足布拉格方程时 产生相干衍射 由于多层膜的调制周期比一般金属和小分子化合物的最大晶面间距大得多 所以只有小周期多层膜调制界面产生的X射线衍射峰可以在小角度区域中观察到 对制备良好的小周期纳米多层膜可以用小角度XRD方法测定其调制周期 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 39 物质状态的鉴别 不同的物质状态对X射线的衍射作用是不相同的 因此可以利用X射线衍射谱来区别晶态和非晶态 不同材料状态以及相应的XRD谱示意图 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 40 纳米材料研究中的XRD分析 TiO2纳米材料晶粒大小测定 对于TiO2纳米粉体 衍射峰2 为21 5 为101晶面 当采用CuK 波长为0 154nm 衍射角的2 为25 30 半高宽为0 375 一般Sherrer常数取0 89 根据Scherrer公式 可以计算获得晶粒的尺寸 D101 K B1 2cos 0 89 0 154 57 3 0 375 0 976 21 5nm 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 41 纳米TiN AlN薄膜样品的XRD谱 对于S2样品在2 4 43 时出现明锐的衍射峰 根据Braag方程 可计算出其对应的调制周期为1 99nm 而对于S3 5样品的2 2 66 调制周期为3 31nm 分别与其设计周期2nm和3 5nm近似相等 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 42 介孔结构测定 六方孔形MCM 41密堆积排列示意图 合成产物的XRD图谱 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 43 单层分散研究 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 44 激光拉曼物相分析 当一束激发光的光子与作为散射中心的分子发生相互作用时 大部分光子仅是改变了方向 发生散射 而光的频率仍与激发光源一致 这中散射称为瑞利散射 但也存在很微量的光子不仅改变了光的传播方向 而且也改变了光波的频率 这种散射称为拉曼散射 其散射光的强度约占总散射光强度的10 6 10 10 拉曼散射的产生原因是光子与分子之间发生了能量交换 改变了光子的能量 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 45 拉曼活性 在固体材料中拉曼激活的机制很多 反映的范围也很广 如分子振动 各种元激发 电子 声子 等离子体等 杂质 缺陷等晶相结构 颗粒大小 薄膜厚度 固相反应 细微结构分析 催化剂等方面 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 46 Raman光谱可获得的信息 Raman特征频率 材料的组成 MoS2 MoO3 Raman谱峰的改变 加压 拉伸状态 每1 的应变 Si产生1cm 1Raman位移 Raman偏振峰 晶体的对称性和取向 用CVD法得到金刚石颗粒的取向 Raman峰宽 晶体的质量 塑性变形的量 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 47 晶粒度影响 利用晶粒度对LRS散射效应导致的位移效应 还可以研究晶粒度的信息 晶粒度影响 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 48 金属丝网负载薄膜光催化剂 TiO2薄膜晶体结构 145cm 1 404cm 1 516cm 1 635cm 1是锐钛矿的Raman峰 228cm 1 294cm 1是金红石的Raman峰 在超过400 后 有金红石相出现 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 49 薄膜晶粒尺度研究 1U Balachandran N G Eror J Sol State Chem 42 1982 276 282 2SeanKelly FredH Pollak MichaTomkiewicz J Phys Chem B101 1997 2730 2734 Raman峰的位置会随着粒子粒径和孔径的大小发生变化 粒径的变小会使峰位置偏移 峰不对称加宽 峰强变弱 TiO2薄膜孔径变小 体现在142cm 1的峰位置变化明显 从位置142cm 1到145cm 1的变化 显示粒径的大小为10nm 2 与TEM结果一致 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 50 电子衍射分析 所用的电子束能量在102 106eV的范围内 电子衍射与X射线一样 也遵循布拉格方程 电子束衍射的角度小 测量精度差 测量晶体结构不如XRD 电子束很细 适合作微区分析因此 主要用于确定物相以及它们与基体的取向关系以及材料中的结构缺陷等 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 51 电子衍射特点 电子衍射可与物像的形貌观察结合起来 使人们能在高倍下选择微区进行晶体结构分析 弄清微区的物象组成 电子波长短 使单晶电子衍射斑点大都分布在一二维倒易截面内 这对分析晶体结构和位向关系带来很大方便 电子衍射强度大 所需曝光时间短 摄取衍射花样时仅需几秒钟 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 52 电子衍射原理 当波长为l的单色平面电子波以入射角q照射到晶面间距为d的平行晶面组时 各个晶面的散射波干涉加强的条件是满足布拉格关系 2dsinq nl入射电子束照射到晶体上 一部分透射出去 一部分使晶面间距为d的晶面发生衍射 产生衍射束 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 53 电子衍射原理 当一电子束照射在单晶体薄膜上时 透射束穿过薄膜到达感光相纸上形成中间亮斑 衍射束则偏离透射束形成有规则的衍射斑点对于多晶体而言 由于晶粒数目极大且晶面位向在空间任意分布 多晶体的倒易点阵将变成倒易球 倒易球与爱瓦尔德球相交后在相纸上的投影将成为一个个同心圆 电子衍射结果实际上是得到了被测晶体的倒易点阵花样 对它们进行倒易反变换从理论上讲就可知道其正点阵的情况 电子衍射花样的标定 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 54 电子衍射的标定 多晶衍射花样是同心的环花样 可以用类似粉末X射线的方法来处理 可以计算获得各衍射环所对应的晶面间距 由此可以分析此相的晶体结构或点阵类型 也可以由晶面指数和晶面间距获得点陈常数 可以和X射线衍射分析的数据对照 单晶的衍射花样比较简单 可以获得晶面间距以及点陈类型和晶体学数据 表1是电子衍射花样与晶体结构的关系 具体指标化过程可以通过计算机完成 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 55 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 56 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 57 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 58 纳米线已经形成在受到电子束照射时发生变形电子衍射花样为规律性的斑点 Fig2 ATEMfor10min Fig2 BTEMfor30min 颗粒为长圆形 定向生长颗粒自组装形成的长串 纳米线电子衍射花样为不清晰的亮环 非晶 Fig2 CTEMfor60min 纳米线已经完全形成在电子束照射下较为稳定电子衍射花样 纳米线的取向取向一致晶体的C轴同纳米线的走向一致 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 59 纳米材料的形貌分析 材料的形貌尤其是纳米材料的形貌也是材料分析的重要组成部分 材料的很多重要物理化学性能是由其形貌特征所决定的 对于纳米材料 其性能不仅与材料颗粒大小还与材料的形貌有重要关系 如颗粒状纳米材料与纳米线和纳米管的物理化学性能有很大的差异 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 60 形貌分析的主要内容是分析材料的几何形貌 材料的颗粒度 及颗粒度的分布以及形貌微区的成份和物相结构等方面 纳米材料常用的形貌分析方法主要有 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 61 SEM形貌分析 扫描电镜分析可以提供从数纳米到毫米范围内的形貌像 观察视野大 其分辩率一般为6纳米 对于场发射扫描电子显微镜 其空间分辩率可以达到0 5纳米量级 其提供的信息主要有材料的几何形貌 粉体的分散状态 纳米颗粒大小及分布以及特定形貌区域的元素组成和物相结构 扫描电镜对样品的要求比较低 无论是粉体样品还是大块样品 均可以直接进行形貌观察 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 62 TEM形貌分析 透射电镜具有很高的空间分辩能力 特别适合纳米粉体材料的分析 其特点是样品使用量少 不仅可以获得样品的形貌 颗粒大小 分布以还可以获得特定区域的元素组成及物相结构信息 透射电镜比较适合纳米粉体样品的形貌分析 但颗粒大小应小于300nm 否则电子束就不能透过了 对块体样品的分析 透射电镜一般需要对样品进行减薄处理 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 63 STM AFM形貌分析 扫描隧道显微镜主要针对一些特殊导电固体样品的形貌分析 可以达到原子量级的分辨率 但仅适合具有导电性的薄膜材料的形貌分析和表面原子结构分布分析 对纳米粉体材料不能分析 扫描原子力显微镜可以对纳米薄膜进行形貌分析 分辨率可以达到几十纳米 比STM差 但适合导体和非导体样品 不适合纳米粉体的形貌分析 这四种形貌分析方法各有特点 电镜分析具有更多的优势 但STM和AFM具有可以气氛下进行原位形貌分析的特点 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 64 电子束和固体样品表面作用 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 65 SEM形貌像信息 背射电子像信息深度是0 1 1微米 元素成份象和表面形貌象 分辩率40nm 二次电子像表面5 10nm的区域 能量为0 50eV 表面形貌 分辩率0 5 6nm 形貌衬度 吸收电子像表面化学成份和表面形貌信息 分辨率40nm 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 66 扫描电镜的特点 较高的放大倍数 20 20万倍之间连续可调 很大的景深 视野大 成像富有立体感 可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构 样制备简单 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置 这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 67 高分辨TEM 高分辨TEM是观察材料微观结构的方法 不仅可以获得晶包排列的信息 还可以确定晶胞中原子的位置 200KV的TEM点分辨率为0 2nm 1000KV的TEM点分辨率为0 1nm 可以直接观察原子象 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 68 高分辨显微像 高分辨显微像的衬度是由合成的透射波与衍射波的相位差所形成的 入射电子与原子发生碰撞作用后 会是入射电子波发生相位的变化 透射波和衍射波的作用所产生的衬度与晶体中原子的晶体势有对应关系 重原子具有较大的势 像强度弱 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 69 高分辨像 晶格条纹像常用于微晶和析出物的观察 可以揭示微晶的存在以及形状 但不能获得结构信息 但可通过衍射环的直径和晶格条纹间距来获得 一维结构像即将观察像与模拟像对照 就可以获得像的衬度与原子排列的对应关系 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 70 A 非晶态合金B 热处理后微晶的晶格条纹像C 微晶的电子衍射明亮部位为非晶暗的部位为微晶 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 71 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 72 二维晶格像 单胞尺度的像 能观察到单胞的二维晶格像 但不含原子尺度的信息 称为晶格像 二维结构像 原子尺度的像 晶体结构像 像中含有单胞内原子排列的信息 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 73 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 74 A 氮化硅的结构像B 氮化硅的结构像C e 氮化硅的模拟像和原子排列D f 氮化硅的结构像模拟像和原子排列 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 75 形貌分析应用 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 76 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 77 介孔结构研究 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 78 高分子纳米管 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 79 无机 有机复合 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 80 高分子纳米球的合成 26 01 2020 清华大学化学系材料与表面实验室 81 纳米球的微观结构 26 01 2020