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文档简介
成都莱峰LF-400系列流量计-控制器(说明书)2.0概要 LF400系列质量流量计,气体质量流量控制器采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。 产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高精度,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。 特点 o模拟式热质式流量计/气体质量流量控制器: -环境温度补正 -可应用的流率范围广: -05,10,20,30,50,100,200,500SCCM -01,2,3,5,10,15,20,30SLM o高精度 1%(15SLM) 1.5%(15SLM.) o可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能 o国际兼容 应用 o工业设施的气体供应监测/控制。 o气体分析设备。 o固定气体流量控制。 o气体混合或分离设备 标准气体质量流量用氮气(N2)标定。 标准状态规定为: 标准温度0(273.15K) 标准压强101325Pa 输入输出 输入设定电压0+5.00V 输出电压检测0+5.00V 型号 LF400-A 型式 A 模拟式 B 数字式 功能 M 流量计 C 流量控制器 流量范围 ABC 气体种类 013 N2 008 Air 015 O2 004 Ar 025 CO2 001 He FFF 其他 接头 1/4”VCR 1 1/2”VCR 2 3SWL 3 6SWL 4 其他 F 讯号 DC05V 1 其他 2 电源 DC+/-15V 1 流量范围是以mL/min,L/min为单位 例: 5mL/min表示为005 500mL/min表示为500 50L/min(nor)表示为50L 规格(热式) 功能 流量计/控制器 基本型号 LF400-A 满量程流量范围(N2) SCCM 05,10,20,30,50,100,200,500 SLM 01,2,3,5,10,15,20,30 精度(F.S) 1(15SLM) 1.5(15SLM.) 控制阀动作型式 常闭式 线性(F.S.) 0.51(15SLM) 1.5(15SLM.) 重复精度(F.S.) 0.2 响应时间(sec) 1 流量输出信号 0-5V,RS232,485 流量设定信号 0-5V,RS232,485 电器接头 DB15pin(接头) 工作环境温度 () 545 工作压差 (MPa) 0.050.5 漏率 SCCSHe 110-10 最大耐压 3MPa 介质接触材质 304,316,316L 密封材料 氟橡胶,硅橡胶,聚四氟乙烯 接头尺寸 VCR1/4、1/2 Swagelok
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