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文档简介

镀膜机安全技术操作规程镀膜机安全技术操作规程 一 目的 消除一切使设备遭到损坏 使人身健康与安全受到威胁 使环境遭到污染的因素或现象 避免设备事故的发生 实现安 全正常生产 二 适用范围 本公司镀膜机的安全生产管理的全过程 三 安全操作规程 1 开机前先检查各真空泵的油位高度 如有不足要补充后 再开机 2 开高阀前必须对溅射室抽低真空 待压力达到 5pa 时 方可打开高阀 不允许直接用扩散泵抽高于 5pa 压力的溅射室 3 操作或维修高阀时 阀两侧压力基本一致时才能开高阀 4 对溅射室充气前 应首先切断真空计的高真空测量 以 免损坏电离规管 5 设备使用中途停水时 应立即切断扩散泵和溅射电源 6 设备使用中途停电时 应将真空计的电离规管关闭 关 压电阀 关 充气阀 关溅射电源 关工件旋转和烘烤电源等 待来电后重新启动 7 应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换 新靶材 8 拆装弧靶时 应先关闭冷却水 拆下水管 用压缩空气 吹净靶体内的水 防止水滴在溅射室内 并且不能损伤靶体 尤其是密封面 9 更换靶材时 不能损坏密封表面 靶阴极体及靶零件 必须清除油污及汗渍 10 开启溅射室盖时 室内应处于常压 决不允许真空室 处于真空状态时开启室盖 11 操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程 进行作业 注意设
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